拆解报告揭示麒麟9030 Pro工艺细节,中芯国际DUV多重图案化技术实现突破

科技区角 2026-06-17 11:00

【区角快讯】SemiAnalysis旗下STEEL实验室近日披露了针对华为Mate 80 Pro所搭载麒麟9030 Pro芯片的首份公开逆向工程分析。这份报告确认,该核心处理器由中芯国际采用其第三代7nm级N+3工艺制程打造。值得注意的是,在缺乏极紫外(EUV)光刻设备的背景下,中芯国际仅凭深紫外(DUV)光刻技术便达成了这一制造指标。



数据显示,N+3工艺的最小金属间距(M0 pitch)压缩至32.5纳米。相比之下,英特尔18A工艺在Panther Lake CPU上应用的间距为36纳米,前者紧凑度高出约10%。在晶体管密度方面,N+3达到了约113.4 MTr/mm²,略微超越台积电N6工艺的107.7 MTr/mm²。不过,SemiAnalysis也指出,英特尔18A高密度库的晶体管密度仍比N+3高出约38%。

从工艺流程来看,N+3的M0层引入了自对准四重图案化技术,而台积电N6在同一层级仅需双重图案化。这种差异意味着N+3需要更多的光罩、更严苛的套刻精度以及更为繁琐的生产步骤。性能层面,麒麟9030 Pro的大核主频定格在2.75GHz,其集成的Maleoon 935 GPU在3DMark测试中的得分略高于骁龙8+ Gen 1。

SemiAnalysis认为,出口管制并未彻底遏制中国半导体产业的演进,反而促使中芯国际探索出一条通过复杂且高成本的DUV多重图案化路径进行追赶的技术路线。此外,华为正逐步转向“韬定律”技术策略,借助逻辑折叠等创新手段,以系统级集成替代单纯的晶体管微缩,从而确保持续的性能提升。

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中芯国际 拆解
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