芯上微装AST6200光刻机获批量订单，国产化合物半导体设备突围

【区角快讯】当国产光刻机在化合物半导体领域撕开一道口子，其意义或许不亚于硅基逻辑芯片的突破。近日，芯上微装传来捷报，其自主研发的350nm步进投影光刻机AST6200，不仅顺利通过国内某头部客户的全流程工艺验证，更一举拿下批量重复采购订单。

从2025年11月首台设备发运，到2026年8月斩获量产大单，短短9个月的时间跨度，见证了国产装备惊人的迭代速度。这台设备的核心价值在于“全栈自主”——从关键零部件到软件控制系统，实现了100%的自主可控。这标志着国产光刻机在化合物半导体专用设备赛道上，迈出了实质性的一步。

AST6200的定位非常明确，专为化合物半导体打造。它能稳定实现350nm分辨率，正面套刻精度达80nm，背面则为500nm。无论是Si、SiC、GaN等常见衬底，还是蓝宝石等特殊材料，乃至2至8英寸的透明或大台阶晶圆，它都能从容应对调焦调平挑战。这种广泛的兼容性，使其能服务于功率器件、射频前端、Micro LED等高价值产线。

值得注意的是，此次批量订单的落地，直接填补了第三代半导体量产线对国产中高端光刻设备的刚需缺口。在功率与射频领域，国产设备已具备替代进口的实力。当然，需厘清的是，AST6200属于步进光刻机（Stepper），与硅基逻辑芯片制造用的步进扫描式光刻机（Scanner）分属不同技术路线与应用层级，二者并非直接竞争关系。

作为从上海微电子拆分出的独立实体，芯上微装深耕“超越摩尔”赛道。其在先进封装步进光刻机市场早已站稳脚跟，全球市占率约35%，国内更是高达90%。如今切入化合物半导体核心制造环节，无疑是其技术版图扩张的关键一役。