EUV光刻机,订单排到2027年

半导体芯闻 2026-09-14 18:44
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上周,荷兰芯片设备制造商阿斯麦(ASML)在埃因霍温为一座新工厂破土动工;公司首席财务官罗杰·达森(Roger Dassen)表示,人工智能(AI)热潮已显著改变了客户的心态。


该公司现有的、制造先进AI芯片必不可少的EUV(极紫外光刻)设备(单价2亿美元)几乎已预订一空,订单排到了2027年;与此同时,客户也纷纷承诺采用其下一代高数值孔径(High NA)光刻设备(单价4亿美元)。


Dassen 提到,在最近与一位主要客户的对话中,对方的语气是:“能多给我一些吗?能尽快交货吗?”


台积电、三星和 SK 海力士都已确定了将 High-NA(高数值孔径)光刻技术投入生产的时间表,而作为先行者的英特尔也表示,相关设备已达到产能和可靠性标准。结合新的产能规划,这些进展表明,这家欧洲市值最高的公司有望在 2030 年代继续保持其在芯片光刻设备领域的霸主地位。


首席执行官 Christophe Fouquet 在接受路透社电话采访时表示:“老实说,我认为(人工智能热潮)远未结束。”


ASML 的客户涵盖所有主要芯片制造商,其中包括为苹果(Apple)和英伟达(Nvidia)代工芯片的台积电(TSMC)。台积电此前曾质疑“高数值孔径”(High NA)技术高达 4 亿美元的售价是否物有所值,但如今已承诺将从 2030 年起采用该技术。


芯片制造商曾耗费数年时间进行评估,探讨芯片封装、三维堆叠及其他制造技术的进步是否能降低对 High NA 技术的依赖。


这些承诺表明,业内巨头依然认为,要提升性能,仍需进一步缩小芯片的特征尺寸。


与标准 EUV 系统相比,High NA 技术能够刻印出尺寸缩小约 40% 的特征结构,这有望减少制造工序并提高生产效率——不过,其成本也约为标准系统的两倍。


在技术最前沿,ASML 的地位尤为稳固:自 2010 年代末以来,该公司一直垄断着极紫外(EUV)光刻机的供应,而这种设备是制造最强大商用 AI 芯片中微小电路所必需的。


“高数值孔径”(High NA)技术是下一代 EUV 技术,于 2023 年首次出货。在 EUV 领域,ASML 没有商业竞争对手。日本的尼康(Nikon)和佳能(Canon)以及中国的新兴竞争对手,生产的是基于深紫外(DUV)光刻技术的系统,这属于较老的技术。晨星公司(Morningstar)分析师哈维尔·科雷奥内罗(Javier Correonero)表示,关于这些公司在光刻技术上即将赶超 ASML 的担忧,纯属“误传”。


全球半导体产业规模高达万亿美元,其投资决策往往在芯片正式投产前数年便已做出;制造商、设备供应商和材料厂商需要协同配合,确保新设备、化学品和工艺流程能够完美衔接。


一些专家曾质疑,芯片制造商是否会足够广泛地采用 High NA 技术,以证明其高昂的研发成本是合理的。


InsingerGilissen 公司的分析师乔斯·维尔斯特格(Jos Versteeg)表示:“我从未怀疑过这一点,因为别无选择。”


三星(Samsung)宣布将于 2028 年开始利用 High NA 设备生产存储芯片;晨星公司的科雷奥内罗指出,这一时间点早于市场预期。存储芯片巨头 SK 海力士(SK Hynix)也宣布将从 2028 年起采用 High NA 技术;美光(Micron)虽已订购相关设备,但尚未确定投入生产的具体日期。


作为首个采用该技术的厂商,英特尔(Intel)周二表示,目前已利用 High NA 设备处理了超过一百万片晶圆。


Fouquet指出,由于存储芯片成品尺寸较小,存储芯片厂商采用 High NA 技术的门槛相对较低。


他说:“你会发现这些厂商在许多方面的计划都更为激进,其中也包括 High NA 技术。它们都在推进将 High NA 技术应用于大规模生产的计划。”


(来源:编译自路透


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