展商推介 | 中科仪将亮相2026湾芯展

中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司（股票代码：920186.BJ）于2026年4月在北京证券交易所上市。公司深耕真空技术七十余年，是中国领先的半导体制造设备核心部件提供商及真空科学仪器设备供应商。公司以创新为理念，以真空技术为基础，面向高端科研仪器、光伏、半导体、LED等高科技、新能源、新材料领域，以装备制造为主业，成为集研发、生产、销售、服务为一体的科技创新型企业。

■罗茨转子与爪型转子组合式设计；

■高转速小体积设计，泵体结构紧凑；

■泵体可配置大流量N₂，温度可控，适用含腐蚀性和粉尘制程物的苛刻工艺；

■可靠性高，运行成本低。

■主要用于半导体行业中刻蚀、离子注入、CVD等中等和苛刻工艺。

■多级罗茨结构设计；

■高转速小体积设计，泵体结构紧凑，运行能耗低；

■可靠性高，运行成本低。

■主要用于半导体行业中装载、传输等清洁工艺。