珀金埃尔默将亮相湾芯展
2026湾芯展将于10月14-16日在深圳会展中心(福田)盛大举办,届时珀金埃尔默企业管理 (上海)有限公司将亮相7号馆7D05展位,诚邀您莅临“2026湾区半导体产业生态博览会”!
珀金埃尔默企业管理 (上海)有限公司

珀金埃尔默作为全球领先的科学仪器与解决方案提供商,将携多款创新分析仪器亮相2026湾区半导体产业生态博览会。作为分析仪器领域的佼佼者,珀金埃尔默在无机光谱质谱、有机色谱质谱、分子光谱及材料表征等方面占据领先地位。珀金埃尔默深耕中国市场近50 年,在半导体领域经验丰富,客户基础广泛,为湿化学品、电子特气、晶圆及前驱体检测提供专业解决方案。
展位号:7号馆7D05
部分展品

珀金埃尔默提供全面的半导体制程分析检测技术

GDI - ICP/MS 系统
可将气体直接导入 ICP 等离子体激发,无需额外前处理,便捷高效,且不易受污染。

GCMS/FTIR/TGA联用系统
擅长分析挥发性有机化合物,适用于湿化学品、光刻胶、前驱体中有机溶剂及挥发物的定性与定量分析。

NexION®系列电感耦合等离子体质谱仪
运用四极杆通用池技术,从根源解决质量重叠引发的化学干扰(多原子干扰)与物理干扰。可精准检测超纯水、硫酸、盐酸等多种电子化学品中的无机杂质。检测限极低,线性范围宽,能有效检测晶圆痕量金属杂质,也常用于分析前驱体中铁、铜、镍等金属杂质含量,保障前驱体高纯度。

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