10月15日，2026湾区半导体产业生态博览会（湾芯展）进入第二天，深圳会展中心（福田）现场热度不减。本届展会汇聚1000余家参展企业，较去年增长约六成，累计首发、展出新品超3000件。
展会现场，多家深圳及国内半导体装备企业展示的不仅仅是产品，更是国产装备从样机走向量产、从单点突破走向系统化布局的阶段性答卷。
从样机走向批量，国产晶圆机械手跨过了什么坎？
在汇川技术展台，其半导体领域的明星产品——晶圆机械手算法解决方案吸引了众多专业观众的关注。
晶圆振动抑制是半导体制造中的关键环节，直接影响晶圆传输的良率与效率。汇川技术应用开发工程师周谭熊向南方+介绍，该方案可使晶圆的振动加速度小于0.3G，振幅小于0.4毫米，相比国外头部客户具有较大优势。重复定位精度可做到0.05毫米，而国外同类型机械手重复定位精度通常只能做到0.1毫米。
精度提升的背后是技术路径的差异化选择。周谭熊进一步解释了震动抑制的技术逻辑：振动的产生通常源于启动、停止或速度突变，汇川通过丰富的运动积累让轨迹尽量圆滑，从而保证速度和加速度连续，消除震动发生的点。
市场的反馈，比参数更有说服力，据报道，汇川技术今年上半年半导体订单同比增长140%，重要增量来自老客户从样机验证走向批量应用。目前，公司已完成装备制造商、半导体供应商与汇川技术自身的产业链闭环生态构建，正着力打造半导体全产业生态体系。
垄断95%的日本“天车”，国产如何破局？
如果说机械手是晶圆厂里的“巧手”，那么自动物料搬运系统（AMHS）就是维系整个工厂运转的“神经网络”。
在苏州新施诺的展位现场，被称为“天车”的空中悬挂式无人搬送车在玻璃间内丝滑运行，吊起、传送、存储，一气呵成。
“这套系统就像是晶圆厂里的‘智能高速公路’，为晶圆厂提供整体解决方案。”现场负责人陈女士介绍道。在动辄数万平方米、工序上千道的半导体晶圆厂里，数十万片晶圆需要在不同设备间精准、高效、无损地流转，AMHS承担着这一关键任务。
搬运听起来并不复杂，但调度层面存在很高的技术壁垒。“不是说只是一台车进行调度，比如一个工厂可能要用到上百台上千台这样的小车，我们需要保证它们同时不出错。”
陈女士坦言，目前公司的订单还没有达到那个量级。此前，这个市场主要是日本两家企业垄断了95%以上的份额，这一块业务还在国产化替代的进程中，但已经摆脱了对进口设备的依赖，更成为12英寸先进晶圆厂不可或缺的关键基础设施，已在多家行业头部客户的产线稳定运行。
前道检测蓝海，能否弯道超车？
晶圆检测贯穿集成电路生产的全过程，是保证芯片良品率的关键一环。在卓海科技展台，一台“无图晶圆检测”设备吸引了观众注意。
所谓“无图”，是指晶圆表面尚未进行光刻、没有绘制图形的阶段。此时硅片表面平整，公司设备可以测量其表面颗粒的数量与分布。
“比如60纳米以上的颗粒大概有多少颗，我们可以从颗粒的排列、分布以及数量，看出它受到了什么污染，然后你就可以去救援。”现场负责人向南方+解释道，60纳米或100纳米以上的颗粒对晶圆表面已属较大颗粒，可能对后续工艺造成损伤和污染，因此需要在光刻之前进行检测和把控。
南方+了解到，在半导体晶圆量检测设备市场中，国内厂商主要抢占相对红海的后道封测环节市场，以及前道“无图形”晶圆缺陷检测、亚微米级前道有图形晶圆缺陷检测市场。
目前，我国半导体晶圆量检测设备行业内上市企业主要包括精测电子、华兴源创、精智达、中科飞测、天准科技等，其中精智达、中科飞测都为深圳企业。从上市板块分布来看，除精测电子在深交所创业板上市外，其余四家均选择在上交所科创板挂牌。
从半导体晶圆量检测设备相关业务收入来看，中科飞测以约20.54亿元的半导体量检测设备收入位居行业首位，其量检测业务占总收入比例高达96%以上，是五家企业中业务聚焦度最高的纯量检测设备商。
国产半导体设备“量产”，正在路上
多家企业在展会透露的信号指向同一个趋势，即国产半导体装备正从“能做出来”走向“能稳定用下去”。新凯来展台工作人员透露，公司半导体设备均已量产，目前已进入国内多家晶圆厂。本届展会上，新凯来还低调“上新”了PMI图形掩模缺陷检测设备与mEBI多电子束晶圆缺陷检测设备，后者集成AI缺陷检测功能。
这一转变的背后，是深圳半导体产业生态数年来的系统性构建。公开数据显示，相较去年，今年湾芯展定向邀约核心Fab制造企业43家，同比增加50%，同期举办投融资、采配专项对接会30余场，也比去年增加超过30%。
早在2019年之前，深圳晶圆制造环节短板明显。当年5月，深圳市重大产业投资集团有限公司成立，聚焦集成电路主业，7年间投资新凯来、方正微电子、润鹏等重要半导体企业，深圳半导体产业链日趋完善。2023年，深圳市半导体与集成电路产业联盟成立，即深芯盟，也是湾芯展的承办机构。
三年过去，湾芯展已从2024年首届参展企业400多家增至约1000家，展会面积从4万平方米扩至近8万平方米。深圳集成电路销售收入从2022年的1608.9亿元提升至2025年的3610.4亿元，超额实现三年翻两倍。
来源 | 南方日报、南方+客户端
撰文 | 徐怀
摄影 | 朱洪波
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