蔡司韩国新任法人长：已为三星SK海力士扩产做好供应链准备

【区角快讯】当半导体制造进入毫厘必争的深水区，光学系统的精度往往成为决定良率的关键变量。近日，蔡司韩国新任法人长在首尔接受采访时明确表态，针对三星电子与SK海力士在韩推进的大规模晶圆厂投资计划，公司方面已完成相应的配套准备工作。这一表态不仅折射出全球芯片产能扩张的紧迫性，也凸显了上游核心零部件供应商的前瞻布局能力。

作为1846年创立于德国的老牌光学巨头，蔡司在半导体、医疗及工业测量领域拥有不可替代的地位。特别是在芯片产业链中，其角色至关重要：ASML作为全球唯一能量产极紫外（EUV）光刻机的厂商，其核心高精度镜头系统由蔡司独家供应。换言之，若无蔡司的光学支持，ASML的光刻机将无法组装运行。此次采访的核心聚焦于高数值孔径EUV技术。该技术将镜头数值孔径从0.33提升至0.55，配合13.5纳米波长的光源（仅为上一代氟化氩光源的十三分之一），大幅提升了分辨率。业内预测，这项技术有望在两到三年内实现量产。

蔡司在此领域的布局极具前瞻性。面对高数值孔径EUV对光掩模量测精度的极致要求，蔡司早在六年前便着手开发相关方案，当时多数同行尚持观望态度。如今，其AIMS系列光掩模检测设备已迭代至AIMS EUV 3.0版本。与此同时，供应链也在同步扩容。今年7月，蔡司宣布扩建位于德国奥伯科亨的半导体制造技术工厂，新增约2.5万平方米空间，专门用于生产高数值孔径EUV所需的高精度光学系统及量测设备。这位负责人强调，芯片需求一旦爆发再准备供应链则为时已晚，必须提前洞察方向。

在韩国本地，蔡司的动作也已落地生根。今年7月，位于龙仁的半导体创新中心正式投用，目前配备两台设备，年内还将引入更多批次。该中心允许客户直接参与工艺调试，据称这是首次让客户介入设备改进环节。至于是否在韩国设立研发中心，负责人回应称虽未最终敲定，但属于可能性极大的选项。