展台精彩之外，这些湾芯展展商Q3营收齐增长！

随着2026年三季报陆续披露，半导体设备及核心零部件企业的经营表现受到广泛关注。据《科创板日报》统计，其纳入观察的16家科创板半导体设备企业，第三季度营业收入均实现同比增长，覆盖刻蚀、薄膜沉积、检测、封测等核心环节。

▲ 科创板半导体设备公司2026年Q3业绩情况

其中，中微公司、拓荆科技、盛美半导体、华海清科、屹唐股份、中科飞测、富创精密、先锋精科、恒运昌等企业均亮相了2026湾芯展，与产业链伙伴交流技术、展示成果、探讨合作，为观察半导体产业的发展提供了鲜活样本。

中微公司：

持续投入研发，拓展设备产品布局

刻蚀设备龙头中微公司第三季度实现归母净利润13.09亿元，同比增长 159.02%。财报显示，该公司针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量提升，在先进逻辑器件和先进存储器件中多种刻蚀工艺实现大规模量产。

▲ 中微公司亮相2026湾芯展

在2026湾芯展现场，中微公司通过倡议共建、新品宣讲和专业展示，全面彰显了国内半导体设备龙头企业的硬核实力。据《中国证券报》现场报道，公司已开发出54种刻蚀、薄膜和量检测设备，并进入客户生产线，同时持续拓宽高端半导体设备与先进封装设备产品矩阵。

从研发投入到产品布局，中微公司的参展让上下游企业能够更直接地了解其技术方向，也为围绕制造工艺与设备应用开展交流提供了机会。

拓荆科技：

薄膜沉积技术创新，成为展会发布亮点

薄膜沉积设备龙头拓荆科技第三季度实现归母净利润10.88亿元，同比增长135.39%。拓荆科技财报显示，业绩增长主要原因系公司生产规模效应逐步释放，叠加新产品、新工艺设备已实现量产应用，有效降低了产品单位生产成本。

▲ 拓荆科技亮相2026湾芯展

本届湾芯展上，拓荆科技携PECVD、3D IC设备模型亮相，并在开幕式上重磅发布了新品：里程碑级的非晶碳薄膜沉积技术 Flowable Carbon。设备展示与新品发布相结合，呈现出企业围绕薄膜沉积及先进封装领域持续推进创新的布局。

盛美半导体：

营收保持增长，清洗设备应用持续拓展

2026年第三季度，盛美上海实现营业收入20.24亿元，同比增长7.59%；前三季度累计营业收入57.42亿元，同比增长11.57%。产品应用方面，公司2026年半年报显示，高温单片SPM清洗设备获得多家客户批量订单，多台12英寸单片清洗设备交付新加坡客户，体现出其在清洗工艺覆盖与市场拓展方面的持续推进。

▲ 盛美半导体亮相2026湾芯展

盛美半导体围绕“技术差异化”与“产品平台化”战略，公司已形成涵盖清洗、电镀、立式炉管、涂胶显影、等离子体化学气相沉积、晶圆级先进封装、面板级先进封装及无应力抛光的八大产品板块，业务布局贯穿前道制造与先进封装多个环节。

华海清科：

经营规模提升，关键装备新品亮相

CMP设备龙头华海清科第三季度实现营业收入15.39亿元，同比增长23.71%；归属于上市公司股东的净利润4.39亿元，同比增长53.46%。前三季度，公司累计营业收入41.82亿元，同比增长30.95%；研发投入4.39亿元，同比增长16.86%。

▲ 华海清科亮相2026湾芯展

2026湾芯展现场，华海清科以全系列装备矩阵与两项重磅新品发布，成为展会现场备受关注的焦点。展区人气持续高涨，众多行业专家与专业观众围绕开幕式及新品发布会上亮相的iHQ-900E、Master-P510APEX等新品，与公司技术团队展开深入交流，现场气氛热烈。公司集中展示了CMP、离子注入、减薄、划切、清洗等多系列高端半导体装备及晶圆再生、关键耗材与维保服务，现已广泛应用于集成电路、先进封装、大硅片、第三代半导体、MEMS、Micro LED等关键制造领域。

从经营规模提升到新产品发布，华海清科呈现出持续拓展装备业务的实践。湾芯展将新品发布与现场交流相衔接，让产业链客户能够进一步了解企业技术方向，为后续合作建立联系。

屹唐股份：

单季营收利润双增长，展示关键工艺设备

2026年第三季度，屹唐股份实现营业收入14.52亿元，同比增长10.46%；归属于上市公司股东的净利润6.77亿元，同比增长303.40%；扣非净利润1.84亿元，同比增长16.01%。

▲ 屹唐股份亮相2026湾芯展

2026湾芯展期间，屹唐股份携等离子刻蚀设备和晶圆表面原子处理设备模型亮相，展示关键工艺设备创新成果。其中，RENA-E®系列采用电感耦合等离子技术，兼顾高刻蚀速率与低器件损伤，并通过减少副产物沉积、延长维护间隔降低运维成本；Nebulex®选择性刻蚀设备依托远程等离子系统，实现介电及导体薄膜材料的高选择性去除与均匀度控制，面向逻辑、存储、晶圆代工及功率半导体等制造需求提供工艺解决方案。

中科飞测：

产品迭代推进，量检测业务营收增长

2026年第三季度，中科飞测实现营业收入6.73亿元，同比增长34.73%；归属于上市公司股东的净利润3230.70万元，同比增长783.70%。前三季度，公司累计营业收入16.14亿元，同比增长34.31%。公司三季报显示，明场、暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备及高深宽比刻蚀结构量测设备等新产品，以及现有系列升级产品的收入贡献增加，推动订单与营收规模增长。

▲ 中科飞测亮相2026湾芯展

2026湾芯展现场，中科飞测携全系列高端半导体质量控制设备亮相，集中展示中科飞测在光学、电子束、X光三大核心技术路线的完整布局与产业化成果。作为国内极少数实现三大技术路线全覆盖、多产品规模化量产的半导体量检测龙头企业，中科飞测打破海外技术长期垄断，攻克多项“卡脖子”技术难题，设备性能全面对标国际一线水平，可全方位适配先进逻辑、先进存储、特色工艺、先进封装、大硅片与制程设备等多场景质量控制需求。

富创精密：

零部件业务增长，呈现产业配套价值

2026年第三季度，富创精密实现营业收入14.82亿元，同比增长47.31%；归属于上市公司股东的净利润9902.15万元，同比增长292.82%。前三季度，公司累计营业收入38.00亿元，同比增长39.19%。

▲ 富创精密亮相2026湾芯展

2026湾芯展期间，富创精密亮相1号馆，与多家设备及材料企业共同构成晶圆制造产业链的展示阵容。整机设备与核心零部件企业在同一平台交流，使专业观众能够沿着产业链了解不同环节的产品与能力，也为设备配套、供应协同及产品应用等方面的沟通提供便利。

先锋精科：

营收增速亮眼，持续深耕精密制造

2026年第三季度，先锋精科实现营业收入5.00亿元，同比增长59.13%；归属于上市公司股东的净利润4963.64万元，同比下降10.80%。同期，公司研发投入2615.55万元，同比增长36.73%。前三季度，公司累计营业收入11.62亿元，同比增长20.02%。先锋精科聚焦半导体设备精密零部件，产品包括腔体、内衬、加热器、匀气盘等。公司半年报显示，其长期参与中微公司、北方华创、拓荆科技等设备企业的产品研发、定型与迭代升级，形成了与客户协同开发的合作机制。

▲ 先锋精科亮相2026湾芯展

先锋精科的参展，为湾芯展增添了精密制造环节的观察视角。设备技术的进步，需要零部件在精度、洁净度与可靠性等方面持续配合；上下游企业的共同参与，也让围绕协同开发与产品配套的交流更具针对性。

恒运昌：

射频电源系统深耕，单季经营表现提升

2026年第三季度，恒运昌实现营业收入1.68亿元，同比增长73.00%；归属于上市公司股东的净利润3916.02万元，同比增长76.17%；扣非净利润3570.35万元，同比增长73.35%。前三季度，公司累计营业收入4.47亿元，同比增长11.29%。

▲ 恒运昌亮相2026湾芯展

作为深圳本土核心零部件企业，恒运昌围绕等离子体工艺提供产品与解决方案，业务涵盖等离子体射频电源系统、等离子体激发装置等。恒运昌参与2026湾芯展，与上下游企业共同丰富了核心零部件领域的展示内容。从本土技术积累到产业链配套合作，其发展也体现出深圳企业参与半导体装备产业协作的实践。

诚邀您相聚2027湾芯展

从展台上的创新成果，到近期披露的三季报，企业的持续深耕，为半导体产业发展注入动力。回顾2026湾芯展，从中微公司的产品布局，到拓荆科技、华海清科的新品发布；从屹唐股份的设备展示，到中科飞测的量检测布局，再到富创精密、先锋精科、恒运昌所在的核心零部件环节，湾芯展将设备、材料、核心零部件与制造应用紧密连接，让技术有展示的舞台，让需求有对接的渠道，让合作有深入交流的契机。

2027年10月13—15日，2027湾芯展将再度相约深圳会展中心（福田），展览规模计划扩容至10万平方米，启用全部9个展馆。现展位预订通道已开启，诚邀半导体产业链企业提前布局，携新技术、新产品与新成果相聚深圳。