
突发!半导体工厂火光冲天,行业震荡!
当地时间 8 月 12 日,一则令人震惊的消息在半导体行业炸开 —— 关东电化工业株式会社发布公告,8 月 7 日凌晨 4 时 40 分,其位于日本群马县涩川市的三氟化氮生产设施突发爆炸,瞬间火光四溅,紧接着熊熊大火如恶魔般肆虐。
现场状况惨烈,巨大的爆炸声震耳欲聋,火光将周边天空映得通红,滚滚浓烟遮天蔽日。这场严重火灾造成一名工人不幸遇难,另一名工人受伤。直至当日上午 8 时 45 分,在消防人员的奋力扑救下,火势才被完全扑灭,但现场已一片狼藉,生产设施遭受重创。

重大客户台积电尚未明确表态会因关东电化工业株式会社的事故调整生产计划 。由于三氟化氮用于半导体设备清洗和蚀刻工艺,在芯片制造流程中不可或缺,关东电化又是台积电的三氟化氮供应商之一,所以此次事故引发外界对半导体供应链中断的担忧 。
核心材料供应告急,行业面临冲击
三氟化氮,这个看似陌生的化学物质,却是半导体制造领域的关键材料,堪称芯片制造过程中的 “幕后英雄”,主要用于清洁基板制程腔体。在芯片制造愈发追求高精度、高性能的当下,三氟化氮的重要性与日俱增。
而关东电化工业株式会社,作为三氟化氮的主要供应厂商,其制造的三氟化氮在日本市场占据 90% 的份额,在全球市场也有着举足轻重的地位,主要客户包括三星电子、铠侠等行业巨头,甚至还是台积电熊本厂三氟化氮的供应商之一。
此次关东电化三氟化氮工厂的停产,无疑给半导体行业供应链带来了沉重一击,犹如多米诺骨牌般引发连锁反应,行业对半导体供应链可能中断的忧虑如阴霾般迅速蔓延。

行业巨头受牵连,产能前景蒙阴影
铠侠发言人虽表示目前火灾不会立即冲击铠侠的产量以及 7 至 9 月的获利情况,原因是他们拥有其他气体来源以及一定的剩余库存。但这只是暂时的缓冲,倘若关东电化涩川厂长期关闭,对于铠侠以及整个半导体行业而言,形势将急转直下。同样受到影响的还有众多依赖关东电化三氟化氮供应的企业,如索尼半导体部门拒绝置评,其背后或许也隐藏着对供应中断的担忧。
岩井宇宙证券高级分析师 Kazuyoshi Saito 指出,关东电化的客户还包括索尼等,若工厂长期关停,“这可能会加剧以最大利用率运营以满足人工智能需求的制造商的产能紧张”。在当下人工智能蓬勃发展,对半导体需求呈井喷式增长的时期,产能紧张无疑会制约行业的发展,甚至可能影响到相关企业在市场中的竞争力。

雪上加霜!行业供应格局生变
祸不单行,今年 5 月 26 日,日本另一大化工巨头三井化学宣布,决定退出其全资子公司下关三井化学生产的三氟化氮业务,生产将于 2026 年 3 月底停止,销售将于同年内结束。三井化学给出的关停原因是海外产品价格竞争加剧、原材料及公用工程成本上涨、维修等成本上升,导致该业务盈利极为困难。
这一消息本就给行业带来不小震动,如今关东电化的工厂火灾事件更是让行业雪上加霜。随着关东电化产能短期内难以恢复,叠加三井化学即将停止三氟化氮生产,未来高纯度三氟化氮的全球供应预计将会出现一定缺口。这对于原本就竞争激烈、供应链复杂的半导体行业来说,无疑是一场严峻的挑战,行业供应格局或将因此发生重大改变。
国际主要三氟化氮供应商
- SK Materials(韩国):2024 年全球市场份额约 35%,年产能约 13500 吨。
- Hyosung(晓星,韩国):市场份额约 25%,年产能约 11500 吨,计划今年扩产 2000 吨。
- 关东电化(Kanto Denka,日本):市场份额约 8%,年产能约 3700 吨。
- 默克(Merck,德国):年产能约 2600 吨。
- 三井化学(Mitsui Chemical,日本):年产能约 1700 吨,计划 2026 年 3 月停产。
中国主要三氟化氮供应商
- 中船特气:国内最大生产商,2024 年产能 11000 吨;呼和浩特项目一期将新增 7500 吨,总产能达 18500 吨后有望成全球最大。客户涵盖台积电、中芯国际等。
- 南大光电(含山东飞源):2024 年底产能 8300 吨,乌兰察布基地项目投产后总产能将超 15000 吨。客户包括长江存储、华虹集团。
- 昊华科技:现有产能 5000 吨,自贡沿滩 6000 吨装置今年投产后,总产能达 11000 吨。主要供应京东方、华星光电。
- 凯美特气:当前产能约 300 吨 / 年,光刻气产品通过 ASML 子公司认证(纯度 6N 级),客户含中芯国际、台积电、京东方等。
- 绿菱气体:乌兰察布项目分两期,一期 4500 吨产能已动工,最终将新增 10000 吨产能。
- 广钢气体:投资超 5 亿元建设 3000 吨 / 年项目,计划 2026 年达产。
- 和远气体:宜昌基地 500 吨项目 2024 年 6 月试生产,2025 年 Q3 启动验证导入。
- 裕隆气体:兰州 6000 吨项目一期 3000 吨计划 2025 年 3 月开工,11 月投产。
- 福建德尔:推进 IPO,拟募资投建 10000 吨产能项目。
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