存储大厂首次导入High NA EUV设备

存储世界 2025-09-03 18:25
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9月3日,SK海力士宣布,在存储器行业首次将量产的“High NA EUV”设备带到利川M16晶圆厂。

Hi NA EUV是下一代曝光设备,与现有EUV相比,分辨率大大提高,单位价格超过5000亿韩元。对于生产2纳米以下的系统半导体和10纳米以下的存储半导体至关重要。

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SK海力士率先引进Hi-NA设备进行量产。此前,三星电子今年早些时候将Hi-NA设备带入韩国进行研究。

三星·SK连续引进尖端EUV设备,分析为应对日益增长的全球不确定性。

这是因为,作为韩国以外的主要存储器生产基地的中国工厂的风险增加,加强国内生产基地的技术能力并将其用作高科技DRAM前哨站的需求越来越大。

近日,美国商务部宣布,三星电子、SK海力士和台积电的中国工厂将从12月31日开始被排除在“验证最终用户”(VEU)计划之外。

2022年10月,美国政府禁止向中国进口尖端半导体设备,以阻止中国的半导体主导地位,但有资格获得VEU的公司除外,未经美国许可可以出口设备。

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