编者按：本文系第十一届张江高科·芯谋研究集成电路产业领袖峰会分论坛上，昊华气体总经理王娟的主题演讲。
9月12日，在第十一届张江高科·芯谋研究集成电路产业领袖峰会“材料与设备”分论坛上，昊华气体有限公司总经理王娟发表了题为《卓越“芯”动力，共赢“气”未来——昊华气体赋能半导体产业高质量发展》的主题演讲。电子气体作为半导体制造全程不可或缺的“粮食”与“血液”，正伴随中国集成电路产业的高速发展，迎来全新的战略机遇与立体化竞争格局。
电子气体：半导体制造的生命线与技术基石
电子气体贯穿芯片制造全过程，覆盖外延、刻蚀、离子注入、薄膜沉积、光刻、清洗等每一关键制程。目前行业使用的气体种类超过100余种，包括纯品气体和混配气体，生产过程涉及高温、高压工艺和有毒、有害、易燃、易爆化学品，为整个制造过程带来非常多的挑战。下游应用对纯度、一致性及杂质含量的要求极为严苛，杂质含量控制在ppm级，更高的制程，纯度要求就更高，甚至达到ppt级纯度的要求。电子气体生产过程的安全管理和质量管理一样也是研发和生产的重点，随着制程不断向3nm及以下演进，对电子气体的纯度、稳定性和环保性能也提出了更高要求。她指出，AI、新能源汽车、5G通信等产业的快速发展，正在强力拉动特种气体向高性能、专业化、绿色化方向迭代升级。
昊华气体：六十载技术积淀，打造电子化学品综合服务商
昊华气体成立于2020年7月，整合了原化工部直属黎明院、光明院、西南院三家国家级转制科研院所的科技资源与产业力量，承继六十余年在特种气体研发、工程化与检测领域的深厚积累。依托综合性大型化工央企-中国中化在氟化工、硅化工、氯碱化工、石油化工等产业链得天独厚的上游原材料资源，供应链的稳定性上也有很多的技术优势。昊华气体作为中国中化电子化学品平台公司，实现了将集团内部基础化工产品向高端电子化学品的产品增值，能够为下游客户保障更广泛的气体产品供应。
公司已构建了以电子气体为核心，向第三方检测、工程服务等多领域延伸的“1+N”业务矩阵，其中第三方检测拥有气体行业仲裁资质，已在大连、武汉和成都等完成多地检测实验室布局，配套东北、华中、西南地区检测业务；工程服务配套能力也伴随着检测业务、主产品供应业务全面展开。
产业布局覆盖全国，服务能力深入客户一线
目前，昊华气体已在全国布局多个生产基地与检测中心，覆盖洛阳、自贡、大连、武汉等地，并在上海、深圳设立销售与服务中心，服务网络辐射长三角、珠三角、中西部等主要集成电路产业集群，已为国内80%以上的行业头部企业提供配套产品与技术支持。公司坚持“靠近资源、贴近市场”的布局策略，构建了快速响应机制，承诺售后问题8小时内抵达现场，全力保障供应链稳定与交付安全。
卓越运营与系统创新，筑牢质量与安全双体系
电子气体品类多、危险系数高、工艺过程复杂，安全和质量是电子气体企业的生命线，昊华气体大力推进自动化、智能化产线建设，全面引入霍尼韦尔卓越运营管理体系，目前已通过ISO9001、IATF16949等国际质量体系认证，在电子气体的研发、中试、产业化到客户交付各环节构建形成精细化管控机制，保障产品的稳定性、一致性和高质量交付。
在行业的共同努力下，中国半导体必然会实现从跟跑到领跑的跨越，对半导体配套的电子化学品也是重大契机。昊华气体将始终以客户为中心、以创新为引擎，携手产业伙伴共同筑牢大国制造的供应链根基，共赢半导体产业新未来。
