7位专家解读核心零部件“卡脖子”技术对国产半导体的重要性

报告主题：先进制程超洁净阀门介绍

报告介绍：针对半导体高端制程使用的low particle阀门 

嘉宾介绍：季红生，现任海普瑞（常州）洁净系统科技有限公司常务副总、董事，长期专注于超高纯流体系统与阀门技术的研发、应用与推广。在阀门及管路系统行业拥有二十余年的丰富经验，深耕半导体高端制造领域，主导并参与多个先进制程用超洁净阀门的研发与产业化项目，累计拥有十余项阀门相关专利。季红生先生在颗粒控制、材料应用及系统可靠性等方面具有深厚的专业积累，对于半导体高端制程中阀门的关键性能要求有着深刻理解和独到见解。

报告主题：IC装备超洁净液体流控零部件的行业机遇、挑战与探索

报告介绍：介绍IC装备超洁净液体流控零部件的产业需求、国内外发展现状、国产化机遇、所面临技术挑战，以及浙江启尔机电技术有限公司和浙江大学流体动力基础件与机电系统全国重点实验室开展“产-学-研”合作，探索实现该类零部件技术创新、产品研制与国产替代应用的情况。

嘉宾介绍：胡亮博士长期从事IC装备超洁净流控零部件的技术开发与成果转化工作，带领浙江启尔机电技术有限公司和浙江大学流体动力基础件与机电系统全国重点实验室“产-学-研”联合攻关团队，完成了超洁净磁悬浮泵、风囊泵、超声波流量传感器与控制器等零部件产品研制。胡亮博士是IC装备领域国家级高层次人才，并担任IC装备DLIS教育部工程研究中心主任、中国机械工程学会半导体装备分会总干事等社会职务。

报告主题：半导体核心部件自主化突破：磁悬浮分子泵核心技术攻关及推广应用

报告介绍：在全球半导体产业竞争日益激烈的背景下，供应链安全已成为国家战略的核心。磁悬浮分子泵作为半导体设备中的“真空心脏”，其技术长期被国外垄断，是我国高端半导体设备自主化进程中“卡脖子”的关键一环。张寅博士将在本次演讲将分享从技术攻坚到产业化推广的自主化之路，并剖析半导体行业不同工艺对于分子泵的不同需求。为保障我国半导体产业链安全与韧性贡献坚实力量。

嘉宾介绍：张寅博士，现任杭州昆泰磁悬浮技术有限公司董事长兼 CEO。毕业于北京航空航天大学，导师房建成院士，专注于磁悬浮超高速电机研究。毕业后创办杭州昆泰磁悬浮技术有限公司，带领团队成功研制出国内唯一突破半导体级磁悬浮分子泵，广泛应用于半导体、高端仪器、科研等领域，突破国外对我国半导体设备核心零部件封锁难题，保障供应链安全。

报告主题：先进制造业的绿色科技发展之路分享

嘉宾介绍：环保高级工程师，自2006年起在上海东化环境工程有限公司工作，先后担任项目经理和工程部部长。2017年起在上海盛剑科技股份有限公司工作。在工作期间参与了多个关键技术项目，如丙烯腈装置尾气处理装置设计调试工作以及光电行业洁净间环境VOC减量处理设备的研发等工作。在半导体领域具有扎实的专业知识和丰富的实践经验

报告主题：滤动芯生：CMP高阶产品×本土化战略，共筑半导体产业韧性未来

报告介绍：随着芯片制造技术的快速发展，工艺节点已从 28 nm 跃至 3 nm，单颗芯片集成度突破 2000 亿级。半导体行业以“光速”刷新极限。产品良率又直接关系着企业的成本与竞争力。哪怕是极小的污染物，（如金属颗粒，有机物等），一旦进入制造环节，都有可能会引发线路短路，断路等缺陷，进而导致芯片出现缺陷，严重影响良率。

Pall作为一家专注于过滤器多年的公司，始终以客户需求为己任，结合丰富的滤膜开发经验，不断开发新的制膜工艺与清洗技术，坚持以更高效，更快速，更洁净为产品开发方向。在CMP领域，相继开发出50nm和30nm的高阶过滤产品，源头阻断微粒干扰，守护先进制程；同步实行本土化战略，加固供应链韧性。

嘉宾介绍：现任颇尔（中国）有限公司微电子事业部产品经理，华东理工大学化工硕士，7年半导体材料行业经验，深耕半导体领域过滤解决方案的创新与应用。主导一线客户项目与新品开发，以技术+需求驱动产品迭代。擅长把客户的痛点转化为颇尔尖端过滤解决方案，助力客户在先进制程实现良率跃升。

报告主题：特氟龙加热器和热盘

报告介绍：特氟龙加热器为全球唯一一款加热器，其性能优于硅橡胶加热器，耐受温度达到260摄氏度，是一款超洁净的加热器，在加热的过程中，无颗粒物产生。辉龙开发的金属热盘覆盖了半导体领域各个制程中全系列热盘的应用需求，目前开发的热盘温度达到550摄氏度，精度达到1%，是进口产品国产化替代的重要加热产品。

嘉宾介绍：原美国瓦特隆公司大中华区总负责人，对全球半导体制造装备行业、半导体芯片制造业对温度解决方案的市场需求及应用有深入的了解，在市场开拓、销售团队管理、客户维护等方面有丰富的经验。

报告主题：坚守质量底线，快速响应现场需求，稳步推进核心零部件国产替换

报告介绍：作为关键零部件的国产供应商，二十多年来，FITOK一向坚持质量是企业核心要素，尤其是在半导体行业，如何保证好有质量的交付，是重中之重。

嘉宾介绍：何明胜，有着多年通信行业、半导体行业从事经历。曾在华为工作过10年以上时间，并在半导体零部件企业负责销售服务团队5年以上。近年来，他带领团队密切配合国内半导体头部企业推进国产零部件的替代事宜，并取得了一定的进展。