打破高端精密核心部件国际垄断。
封面来源｜企业供图
硬氪获悉，领聚科技成立于2024年12月，近日已完成过千万元天使轮融资，投资方为中关村发展集团旗下启航投资管理的北科中发展启航基金、中发芯创基金，院士担任长期战略技术顾问。此次融资将主要用于超精密激光干涉仪、纳米级运动模组、超精密光阑系统等核心产品的研发与产业化，以及深圳总部工程与交付能力的搭建。
领聚科技依托哈尔滨工业大学技术成果而诞生，以研发和生产具有国际一流水平的国产化超精密测量仪器与运动模组为发展目标和历史使命。2010年起，围绕国家科技重大专项等系列核心任务需求，哈尔滨工业大学突破了高速超精密运动台、超精密激光干涉仪等关键技术，在超精密仪器与装备核心共性技术上形成了全面、系统化的深厚积累。校方对该技术成果产业化落地的前景高度重视，全程积极推动深圳领聚的成立并通过资产公司直接入股。领聚科技的成立，将快速推动高端科研成果向可交付、可规模化的工业级应用产品转化。
超精密激光干涉仪（图源/企业）
想要造的精、首先要测得准，纳米级的制造要求对高速运动目标进行纳米甚至亚纳米级的高动态、强实时测控。据介绍，领聚科技已形成四款激光干涉仪产品，覆盖高测速、小型化与真空超高精度测量等应用场景，分辨力可达0.04纳米，并可支持2.7米/秒以上测量速度，经权威计量机构比对测试，核心指标比肩国际顶尖竞品，可匹配当前顶级半导体制造装备与计量测试装备的关键测量要求，同时其核心部件均为自研，不仅可打破国外高端激光干涉仪对我国的禁运，实现高度自主化国产替代，且可以依托本土团队来快速响应定制化技术需求。
在纳米级运动平台方面，领聚科技基于双工件台技术开发出模块化、可定制的纳米级运动模组，并可以提供超精密运动台核心零组件定制化服务，同时公司聚焦中高端运动平台需求，先后与多家客户开展合作，定制化高端运动平台已进入样机验证阶段。
截至目前，领聚科技已交付超150台套系统与部件，客户覆盖高端半导体装备为代表的精密设备研发集成、计量检定领域。公司在哈尔滨具备小批量试产能力，深圳总部正加速组建本地研发与工程团队，预计可在短期内快速实现全流程标准化设计与柔性化交付体系的建立，配合客户挑战关键高端半导体装备国产化。
公司的核心团队由具备深厚科研与工程技术背景的成员组成，在超精密测量与控制技术领域拥有扎实的研发及产业化经验。团队主要负责人长期专注于超精密光电测量技术的研发与工程实践，曾于国际500强企业及知名半导体设备上市公司推动创新技术转化与业务拓展，研发功底扎实、市场经验丰富。
技术研发方向由多位来自高校科研团队，包括数位国家级人才在内的该领域资深专家领衔。自2003年起，持续致力于激光干涉仪系统的研发与迭代，在光源、镜组及信号处理等核心子系统方面掌握关键技术。团队曾参与国家重大科研项目，并主导超精密测量与控制系统设计，部分成员长期专注于技术在核心应用领域的交付落地，具备从理论到产业化的全链条能力。
荣誉证书（图源/企业）
在市场层面，超精密激光干涉仪与运动模组领域长期由ZYGO、雷尼绍、Attocube、Aerotech等国际厂商主导，国内虽已实现技术突破，但在产品成熟度方面仍存在明显差距，多数成果仍停留在项目制交付阶段，缺乏系统化、工业级的产品能力和长周期应用验证。领聚科技基于近20年的核心技术研发与多个重大项目交付经验，将以高效率定制与工程可靠性为核心，构建从研发设计、装调验证到柔性交付的完整工程体系，致力于补齐我国高端制造装备的精密测控底座。
公司相关负责人表示，超精密测量与控制系统产品及解决方案必须满足高效定制、长期稳定且高度可靠，这不仅是技术挑战，更是一个完整工程体系的考验。公司下一步将落地深圳本地化产测体系，并携手客户推进平台化版本产品的验证与应用，助力国产高端测控部件在更多装备领域实现突破。
投资方观点：
本轮投资方中关村发展集团启航投资管理合伙人马建平表示：“半导体设备、高端装备及核心系统部件的自主可控是大势所趋和必然要求。我们高度看好领聚科技和哈工大精密仪器工程研究院顶尖科学家团队，在光刻机和超精密高端装备领域的宝贵成套交付经验和长期多轮迭代积累，拥有丰富的技术储备和极宽的产品货架，可以持续转化。同时，我们欣喜地看到公司在成立之初的快速落地进展，这也印证了公司具备极强的产业化能力和客户基础。我们期待公司能持续攻关，解决关键核心装备卡脖子问题，成为超精密仪器领域的世界级公司。”
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