炸裂!新型光刻机问世,12nm突破媲美EUV!

半导体封测 2025-10-29 20:11

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美国小型初创公司Substrate宣称,已成功研发出一款性能可比肩当下最先进光刻机的芯片制造设备。Substrate的CEO詹姆斯·普劳德(James Prooud)称,这款工具是公司宏大计划的首步,该计划意在构建美国芯片代工制造业务,在先进人工智能(AI)芯片制造领域与台积电一较高下。

炸裂!新型光刻机问世,12nm突破媲美EUV!图1

(詹姆斯·普劳德资料图)

詹姆斯·普劳德期望以远低于竞争对手的价格生产设备,大幅削减芯片制造成本,目标是让美国以最低成本大规模产出优质晶圆,虽业内很多人觉得难实现,但他坚信可行。Substrate计划在美国建代工厂生产定制半导体,设备有望未来几年在美国晶圆厂投产,成功将对美国经济和国家安全影响重大。

特朗普将芯片制造回流美国作为政策关键,美政府近期收购英特尔股份,英特尔曾是芯片制造领军企业,但近年制造技术落后于台积电。

Substrate吸引多家投资机构,融资1亿美元,估值超10亿美元。

但Substrate目标挑战性大,光刻技术对精度要求极高,目前全球仅ASML能大规模生产利用EUV光刻技术的复杂工具。

炸裂!新型光刻机问世,12nm突破媲美EUV!图2

(以高图案保真度印制的12纳米关键尺寸、13纳米端到端间距的随机逻辑接触阵列)

Substrate致力于革新EUV光刻方法,虽因竞争不透露技术细节,但称其设备借粒子加速器从短波长X射线产生光源,能生成更细光束,可打印12nm图案,与High NA EUV设备性能相当,且不使用外部光刻工具与知识产权,有差异化技术。目前顶级High NA EUV光刻机单价超4亿美元。

Substrate已在美国国家实验室和旧金山工厂演示设备,并展示高分辨率图像。大幅降本对美国重夺市场份额是契机,专家称其工作具国家战略意义,分析师认为若成功或引发连锁反应。

不过,Substrate离目标实现尚远,开发先进工艺需数十亿美元,芯片工厂建设超150亿美元且需专门技术。公司未获政府直接资助,但获官员关注,其团队约50人,含顶尖人才及曾参与EUV技术开发的研究人员。

Substrate成立于2022年,但构思更早,公司名称意义重大。有分析师指出其曾尝试X射线技术效果不佳且缺乏行业支持,选择竞争使建立技术生态系统可能性降低。


 

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