报告来源：iopscience-Recent progress in atomic-scale controlled plasma processing
https://iopscience.iop.org/article/10.35848/1347-4065/ae65a4/meta
赋能3nm及以下制程：数据驱动的智能化原子层处理（ALP）技术革命
半导体产业研究
2026-06-25 17:51
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