展商推介 | TREC致真设备将亮相2026湾芯展

合肥致真精密设备有限公司成立于2021年5月，是一家专注于高精度物理气相沉积设备及其关键组件研发和制造的国家高新技术企业。

研制多款具有自主知识产权的国产高端科研级和产业级磁控溅射设备，同时为合作伙伴提供薄膜加工制造、工艺调试、设备软件开发等服务。且拥有完备的实验平台和测试分析平台，专业的全方位薄膜检测仪器，可为客户提供薄膜测试分析服务。

致真设备秉承“追求极致、务实求真、敢于创新、合作共赢”的致真精神，致力于提升高端薄膜沉积设备的自主可控水平，推进产学研深度融合，将先进的科研成果转化为具有竞争力的产品。

■12英寸物理气相沉积设备是针对生产企业实验室和产线研发的一系列高性能、高效率的装备。

■Trutholar 300-S-10型物理气相沉积设备采用多个真空腔室互联的设计，通过晶圆真空传输平台实现晶圆的传输，可搭配多个溅射室或处理腔室，适用于生产产线或实验线。

■技术指标：

1.沉积不均匀性:≤2%

2.工艺室:可选预清洗室、溅射室、退火室、低温室、电子束蒸发室、除气室等

3.传输室：可选六边形或八边形腔室，可实现多个传输室互联，配置双臂或单臂机械臂，配置校准和测量装置

4.进样室：12 inch 晶圆，可选 EFEM等前端模块