2026中国半导体生态发展大会——【展商风采】上海众鸿半导体设备有限公司

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公司简介

2026中国半导体生态发展大会——【展商风采】上海众鸿半导体设备有限公司图3

上海众鸿成立于 2011 年 1 月，深耕半导体核心制造装备领域，是一家集研发、生产、销售于一体的专业化高新技术企业。

公司获评上海市高新技术企业、上海市 “专精特新” 企业、临港新片区重点企业，并已通过 ISO 管理体系认证，综合实力与规范化水平位居行业前列。

聚焦国产化替代，众鸿持续夯实自主研发能力，自研产品矩阵不断完善，涵盖：涂胶显影设备、单片旋转式清洗设备、立式炉管设备、快速退火炉等半导体前道核心设备，广泛应用于芯片制造全流程，累计斩获专利近百项，技术壁垒持续筑牢。

为赋能规模化交付，公司于 2021 年 3 月在上海临港钻石园建成现代化制造中心。基地总建筑面积 6846㎡，包含 756㎡万级洁净车间、322㎡千级洁净车间，软硬件配套完善，已实现核心设备标准化、规模化量产，高效保障产品交付与品质管控。

立足技术，深耕制造，聚力赋能半导体产业国产化高质量发展。

业务领域

1. 国产新设备：

（1）涂胶显影设备

（2）单片旋转式清洗设备

（3）立式炉管设备

（4）快速退火炉设备

2. 二手设备：

设备类：

（1）涂胶显影设备

（2）刻蚀设备

（3）光刻设备

（4）其它

3.配件及维修

4.服务支持

（1）On-Site及On-Call服务

（2）客户机台产能优化技改

（3）提供专业的移机/安装调试/维修保养/简易故障排除等服务

（4）培训服务

5.配件销售

（1）Talon Pump（中国区总代理）

（2）碳化硅材料精密加工器件

自研涂胶显影产品简介

1.涂胶显影设备ZHT-200

适用晶圆尺寸：8&6inch（可兼容）

翘曲度：±1mm

应用领域：硅基，化合物半导体(GaAs、GaN、SiC、滤波器)，MEMS，先进封装等领域。

产品优势：

1. 支持光刻机Canon,Nikon,ASML对接

2. 前道支持KrF,ArF工艺；后道支持I-line,PI工艺

3. 可根据客户需求进行设备配置

4. 150mm/200mm两种产品兼容

5. 支持复合板，支持循环水控温冷板

6. 支持工艺参数数字化收集

7. 支持TRMS,EAP自动化系统

8. 支持SECS通信和AMHS系统

9 有SVID输出，支持FDC

10. 支持OHT天车

2.涂胶显影设备ZHT-150

适用晶圆尺寸：6&4inch（可兼容）

翘曲度：±0.3mm

应用领域：硅基半导体,化合物半导体(GaAs、GaN、SiC、滤波器),LED等领域。

产品优势：

1.支持G-line，I-line工艺

2. 一体化设计，设备占地小、稳定性高

3. 100mm/150mm 两种产品兼容

4. 可根据客户需求进行设备配置

5. 零部件国产化，性价比高

6. 支持TRMS,EAP自动化挂系统

7. 支持SECS通信

8. 特別设计机械手克服产品翘曲问题

9. 显影槽特别设计克服背污问题

3. 涂胶显影设备ZHT-300

适用晶圆尺寸：12&8inch（可兼容）

翘曲度：2mm

应用领域：硅基半导体,化合物半导体(GaAs、GaN、SiC、滤波器),MEMS,先进封装等领域。

产品优势：

1. 支持光刻机Canon,Nikon,ASML对接

2. 前道支持KrF,ArF工艺；后道支持I-line,PI工艺

3. 自研高精度冷热板，满足高精度制程需求

4. 叠加式结构布局，单位面积产出高

5. 可根据客户需求进行设备配置

6. 零部件国产化，大幅降低成本

7. 支持TRMS,EAP自动化系统

8. 支持SECS通信和AMHS系统

9. 有SVID输出，支持FDC

10.支持OHT天车

4. 涂胶显影设备HST-300

适用晶圆尺寸：12&8inch（可兼容）

应用领域：硅基半导体,化合物半导体(GaAs、GaN、SiC,滤波器),前道/先进封装等领域。

产品优势

1. 支持光刻机Canon，Nikon，ASML对接

2. 前道支持KrF，ArF工艺；后道支持I-line、PI工艺

3. 五层叠加框架结构，占地面积小

4. 采用全新架构，WPH＞250

5. 20个Spin单元，60个冷热盘

6. 可根据客户需求进行设备配置

7. 支持TRMS,EAP自动化系统

8. 支持SECS通信和AMHS系统

9. 有SVID输出,支持FDC

10. 支持OHT天车

联系方式

上海众鸿半导体设备有限公司

地址:上海市临港新片区沧海路2828号7栋

邮编：201306

电话：021-50124230

邮箱：sales@zh-et.com.cn

网址：http://www.zh-et.cn

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