展商推介 | 隐冠半导体：以精密运动核心技术，助推半导体装备国产化新征程

该产品XY采用纯气浮导向技术，实现无接触悬浮、高性能直驱、无摩擦、高刚度、无污染的运行特性。ZT采用创新性的双轴耦合设计理念，具有非常紧凑扁平的轮廓尺寸，旋转轴可无限制旋转，垂向采用了独特的大行程磁浮重力补偿技术，降低了垂向电机的载荷，很大程度提高了垂向运动性能和寿命。该运动台实现四个自由度运动，为高端量检测设备提供了理想的运动解决方案。

与此同时，隐冠还将同步展示其他精密运动台系列产品，该平台集成压电与电磁直驱技术，具备磁浮重力补偿与主动减振等先进功能。音圈电机、盘式电机、压电微步电机、高真空静电吸盘等系列核心零部件也将在现场展出，覆盖精密定位、驱动与控制的多元应用场景。

隐冠半导体成立于2019年，由复旦大学微电子学院教授杨晓峰与半导体装备领域资深专家吴立伟联合创立，专业从事精密运动平台及其核心零部件的研发、生产与销售。公司以“隐冠”为名，源于“隐形冠军”的愿景——“以隐者之形做研发，冠军之魂出产品”，致力于成为半导体装备关键核心部件领域的“隐形冠军”。

公司现已构建起 “压电驱动+磁悬浮技术+真空级系统集成”三大核心技术支柱，涵盖机械、磁浮、气浮导向技术，集团拥有有效专利数量超过300件，产品线全面覆盖半导体量检测、晶圆制造及先进封装等全工艺流程。

在产业合作层面，隐冠半导体已深度融入国内半导体设备头部企业供应链，服务于上海精测、拓荆键科、上海微电子、北方华创、华海清科等半导体设备头部企业。搭载其精密运动平台的整机设备，已规模化应用于中芯国际、长鑫存储、长江存储、华虹宏力等全国主要晶圆厂的先进制程和先进封装产线，率先开启了国产精密运动平台的批量化、商业化进程。

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