极测亮相湾芯展
2026湾芯展将于10月14-16日在深圳会展中心(福田)盛大举办,届时极测(南京)技术有限公司将亮相9号馆9A23展位,诚邀产业同仁莅临观展!
极测(南京)技术有限公司

极测(南京)技术有限公司是一家集研发、生产和销售为一体的高端装备制造企业,专注于为芯片半导体、光学光电、量子计算等领域提供定制化的高精密环境控制解决方案。
核心产品系列包括:高精密环控系统UPECS、高精密冷却水机Chiller、高精密气体温控机ACU。
自主研发超精密环境控制技术,最高可实现空气温度稳定性±0.002℃,湿度稳定性±0.1%RH,洁净度ISO Class 1,出水温度稳定性±0.002℃,气源气体(压缩空气/氮气)温度稳定性±0.01℃。
满足用户不同温湿度稳定性、洁净度、气压稳定性、抗微振、防磁等需求,为光刻机、干涉仪、键合设备、量检测设备等高端装备提供关键环境技术配套支撑。
展位号:9A23
部分展品

高精密环控系统UPECS
■为高端装备配套打造多参数综合协同的环境系统,包含温湿度稳定性,洁净度,气压稳定性等,保障高端设备输出精度。
■空气温度稳定性最高达±0.002℃,湿度稳定性最高达±0.1%RH,洁净度最高达 ISO Class 1。

高精密冷却水机Chiller
■通过出水温度恒定的循环冷却水带走设备运行和工艺反应产生的热量,快速散热。
■出水温度稳定性最高达±0.002℃,温度范围覆盖5℃~35℃。共推出常温压缩型和换热型两款。

高精密气体温控机ACU
■对气源气体(压缩空气/氮气)控制精度最高达±0.01℃,保障设备精度,温度范围覆盖5℃~60℃,可处理流量10~2500L/min。

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