展商推介 | MTL米拓半导体将亮相2026湾芯展

米拓半导体（上海）股份有限公司，是国内真空流体与传热控制领域国产化先锋企业，专注半导体高端核心零部件自主研发、精益制造与配套服务。公司拥有国家级专精特新 “小巨人”、国家高新技术企业资质，获评上海市专精特新企业、上海市创新型中小企业，为国际半导体设备和材料协会、上海市真空学会会员，上海信息化理事会常务理事单位。

公司 2017 年成立，总部位于上海青浦，深耕真空流体、传热控制两大赛道。主营半导体供气设备、超纯气体管阀件、质量流量控制器、臭氧发生器、精密加工（含化学清洗）、半导体加热及控制系统等产品，搭建起研发、生产、全链路技术服务一体化产业体系。

在半导体以及相关行业中，液态源的应用越来越广泛，但对于使用端来讲，需要气态物质进入反应腔体，因此，液态源的汽化和传输是不可或缺的重要步骤。MTL多年致力于液体汽化和传输的研发，在鼓泡、汽化和闪蒸等各种汽化方式上积累了丰富设计经验和产品实例。

功能和特点：

◊按实际应用选用鼓泡、直接汽化或者闪蒸的汽化方式

◊独创的实时补液系统使液面始终维持在同一高度，补液时无压力变化

◊双重鼓泡系统保证了蒸汽浓度的稳定性

◊丰富的加热设计经验适用于不同的汽化模式

◊丰富的液体属性资料，理论和试验指导设计

◊按SEMI安全设计，可靠的安全性让客户放心使用

◊充分考虑维护的便利性

◊长时间运行的稳定性

VCR 型气体控制柜以其高洁净度的特点和优异的密封性能广泛用于半导体及其相关行业，GASBOX 提供高精度的流量控制，其优异的密封性能和高洁净度的特点使其成本半导体以及相关行业的标准配置。

功能和特点

◊ 优异的密封性能

◊ 高洁净度

◊ 兼容各种特气

◊ 供应链成熟，零部件可替代性强

◊ 设计思路简单，有各种成熟案例

臭氧因为其易于分解、不能储存的特点，需要在使用端现场制备，因此，在需要臭氧的工艺中，臭氧发生器必不可少。在臭氧制备中，通过氧气的电离产生臭氧是主流工艺，其难点在于获得高浓度、洁净的臭氧。经过多年努力， MTL自主研发的臭氧发生器能提供浓度高达335 g/Nm3的高纯臭氧，比肩世界最高水平。

功能和特点

◊ 高纯O₃在线制造

◊ 模块化产品

◊ 17℃冷却水最大臭氧输出量：360 g/Nm3（23.2wt%）

◊ 5℃冷却水的最大臭氧输出量 ：380 g/Nm3（24.4wt%）

◊ 流量范围：1-40slm

◊ 环境温度：10-40℃（50-104℉）

◊ 控制接口：前面板控制和远程操作

缠绕式加热器在灵活性、易于组装、均匀加热和经济性非常重要时，为气体和液体管道提供了首选的加热解决方案。它的预成型螺旋结构使表面接触完全贴合，保证了非常高的传热效率。它的柔软性使工程师能够决定加热覆盖的百分比，调节加热效率。缠绕式加热系统包括螺旋加热器和发泡硅橡胶绝缘套管。

功能和特点

◊ 适用于大多数管路配置

◊ 灵活性支持各种流体管道应用

◊ 快速的原型设计可迅速改进工艺所需热量的分配需求

◊ 定制化的功率密度可覆盖不同客户的要求，以满足特殊的应用

◊ 标准尺寸从1/8英寸到1”油管

◊ 符合SEMI S2-93、UL和CE标准

◊ 可选配集成温度传感器

一体式加热夹克为特气管道和真空系统提供了最佳的加热解决方案，此产品的重要特点在于灵活、易于安装、有竞争力的价格并提供优良的加热性能。其预制的小公差结构通过沿整个流道几乎完全覆盖，确保了温度均匀性，减少了凝结或颗粒堆积的风险，增加了工艺产量，减少了计划外停机时间。该加热器由发热膜、发泡硅橡胶、玻纤增强硅橡胶织物组成，用于半导体、MOCVD和需要均匀加热的类似行业。

IGS型气体控制柜为VCR型气体控制柜的升级产品，IGS的高集成度的设计理念实现了气体控制柜的小型化，节约昂贵的无尘室空间。除此以外，其独特的设计在保证洁净度的基础上，具有更易于维护的特点，广泛用于半导体行业高端制程。IGS的产品种类繁多，设计灵活多变，不同的设计思路决定了气体控制柜的功能和成本，这对设计工程师是一个巨大的挑战。MTL积累了20余年的设计经验，有大量的设计数据库支持完成IGS型气体控制柜的设计，为客户提供完整的解决方案。