功率芯片,直接嵌入硅晶圆?

电子发烧友网Elecfans 2026-09-20 07:00
电子发烧友网报道(文/梁浩斌)近日,安森美发布嵌入式电源平台(Embedded Power Platform,EPP)。这套平台与当前的功率单管、功率IC、功率模块都不同,EPP是把硅晶圆本身当作封装载体,让封装工序从后道装配搬进晶圆厂。

安森美称,该平台功率密度可达现有方案的3至5倍,开发周期最快缩短至四个月,预计2026年开始向汽车与AI领域战略客户送样。

EPP结构是怎样的?

安森美官方对EPP的定义是异构裸片嵌入硅中,通过晶圆级重布线层互连。与传统功率模块的差异,主要有三个方面

在互连方式上,传统功率模块用键合线把裸片顶面电极拱接到基板上;EPP改用晶圆级重布线层(RDL),光刻图形化的铜互连替代键合线。

功率芯片,直接嵌入硅晶圆?图1
同时功率裸片的位置布局也不同,传统模块的裸片经焊料或银烧结贴装在陶瓷基板(DBC)表面,EPP的裸片则嵌入硅内部。

其次,硅本体同时承担机械载体、电气互连与散热路径三重功能,相当于用硅取代了过去的塑封,封装由被动外壳变为性能的组成部分。

而在单个晶圆级封装中,集成控制器、驱动器、高压隔离、功率等一整个系统,不同材料裸片嵌入同一硅载体,大幅提高了集成度。嵌入功率裸片支持SiSiC、GaN及未来材料。

能带来哪些价值?

EPP相比传统的功率器件所带来的新价值,官方归纳为四个维度以全占位面积导热提升散热能力;封装内集成高压隔离,降低对低效绝缘材料的依赖;晶圆级RDL降低寄生电感,支持更高开关频率;数字孪生与多物理场协同仿真加速设计迭代。

在实际应用中,安森美给出三组场景数据AI基础设施中,早期基于EPP的固态断路器相比现有方案尺寸缩小约50%、运行温度降低约20%;电动汽车牵引逆变器功率密度最高提升4倍、功率损耗降低15%;开发周期最快缩短至四个月。

EPP从封装上确实带来了多方面的创新,包括从器件形态、集成度、散热等方面。而更加重要的是,在工艺流程上,功率器件从过去晶圆制造和封装两个环节,都整合到晶圆厂中,硅晶圆成为了这样一个封装模块的平台。

安森美也表示,过去属于封装厂的价值环节,随着EPP的推出,就此被迁回安森美自有的12英寸硅产线。而系统级协同优化,甚至无需完全依赖半导体器件本身的进步,即可提升功率密度。这在SiC、GaN代际迭代放缓的当下,EPP毫无疑问是提供了新的杠杆。

斯巴鲁(Subaru)是EPP首批早期合作伙伴之一,双方将共同评估该平台对未来电动化汽车架构的支撑能力。斯巴鲁将提前获得工程样品、仿真模型与技术资源。

斯巴鲁常务执行役员、工程本部长兼技术研究所所长乾保表示:与安森美开展早期合作,使我们有机会评估EPP在电源系统设计方面的集成化方法,同时借助安森美在建模、仿真和工程领域的专业能力。安森美企业战略高级副总裁Dinesh Ramanathan则表示,斯巴鲁的参与将为EPP的演进带来宝贵的客户洞察。官方称,合作初期将聚焦早期工程评估与技术研究。

小结

“把器件贴到基板把器件嵌进硅里,EPP真正改变的或许不是某一代功率器件的性能,而是功率系统被设计和制造的方式。从结构到整个功率半导体的工艺流程,都可能给产业带来一些新的改变。

功率芯片,直接嵌入硅晶圆?图2

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