国产芯片工艺重大突破!长鑫存储第五代DRAM技术平台实现量产

EETOP 2026-09-20 13:24

2026年9月20日,长鑫存储在世界制造业大会上正式宣布第五代DRAM技术平台(以下简称“G5平台”)实现量产,同步展出基于该平台打造的大容量LPDDR5X新品。该平台工艺水平比肩行业顶尖量产工艺节点,是长鑫存储在高端存储技术路线上的里程碑式突破,将为全球存储产业提供更具创新性、更具供应链韧性的解决方案选择。

国产芯片工艺重大突破!长鑫存储第五代DRAM技术平台实现量产图1

核心工艺实现突破性创新

G5平台在关键工艺维度实现了多项行业领先的技术突破。依托创新的四重曝光技术把内存阵列的有源区半间距微缩至11.95纳米,接近全球最顶尖的内存量产平台制程。通过变革工艺流程、采用新材料,存储电容深宽比达45:1。开发适配DRAM工艺的高介电常数金属栅(HKMG)工艺,成功将G5平台核心功能区高度缩小到6762纳米。

研发过程中,长鑫存储在现有工艺模块的基础上,创造了独特的数字孪生系统,贯穿包括设计、开发、制造、维护等全生命周期的产品研发过程,在这一虚拟研发线中,搭建先进DRAM工艺模型,加速研发进程。同时,在界面工程、鞍形鳍式结构、低k间隔层位线等核心工艺上实现突破。

新一代产品性能跃升

G5微缩工艺的突破推动存储密度实现跨越式提升:每片晶圆产出裸片数量较第四代平台提升至少50%*,在产品能效、成本控制上均具备显著优势。

本次大会同步展出两款基于G5平台打造的LPDDR5X量产产品,单颗容量均为24Gb,较上一代同类型产品提升50%,分别采用496Ball、245Ball封装规格,可适配中高端智能手机、便携式消费电子等不同场景需求,目前均已进入规模量产阶段。

长鑫存储表示,未来将持续面向全球市场需求推进技术迭代,推出更高性能、更高可靠性的存储产品,为全球数字产业发展提供坚实的底层存储支撑。

注:

有源区半间距、深宽比及核心功能区高度为实际产品测量数据,存在正常测量偏差。

提升比例基于与长鑫第四代技术平台的对比。每片晶圆产出裸片数量DPW均换算为8Gb颗粒基准统计。

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