展商推介 | 御微半导体将亮相2026湾芯展

御微半导体是一家以技术和市场双轮驱动，为集成电路制造提供先进装备的高新技术企业。面向集成电路制造、先进封装、化合物半导体、新型显示等领域，为客户提供具有竞争力的产品及技术解决方案。公司聚焦于集成电路光学量检测系统设计与集成，围绕集成电路装备自主化，通过对七大核心技术的研发创新，四大重点实验室的成果转化，已经在掩模基板制造、掩模版制造、芯片制造和先进封装四大应用领域成功推出了具有自主知识产权的十余款量检测设备，并已持续服务于国际知名集成电路厂商。

自研高分辨率成像系统：高检出率且检出尺寸更精准

多版库定制化设计：可适应多种应用场景

双面高效颗粒清洁：全面保障掩模质量

可搭配天车系统：与光刻机强交互，有效提升产能

多种先进算法模式，助力双场景缺陷检出

零部件自主可控率高，确保机台使用可持续性

高洁净度环控设计，有效避免二次污染

高分辨率透反双光路同步成像技术，确保关键缺陷100%检出

高精密运动台控制结合高速传输技术，有效保障客户量产需求

充分考量可维护性，确保零部件更换方便快捷并快速复机

自研高分辨率成像系统：高检出率且检出尺寸更精准

专有照明光源和独特设计：可精确分辨Pin-Hole

多版库定制化设计：可适应多种应用场景

多种分辨率配置：最高可支持23nm缺陷检出

高精度、高稳定性，适用成熟至先进制程

高产率、低维护成本，助力客户产品竞争力

可兼容多种衬底、尺寸、厚度物料，一台多用

多种光源与算法选择，提升工艺适应性

支持自动处方建立，降低机时占用率

明暗场同步检测，提升亚微米缺陷覆盖

无片处方创建+智能分类，提升机台运维效率

亚微米背面与边缘检测，实现更优晶圆质量管控

高兼容性平台设计，支持多工艺节点自动化检测需求

高精度粗糙度/高度量测：Roughness/Step Height 3o<0.5nm

高精度自动定位扫描：可实现缺陷三维形貌精准表征

纳米级精密机械修复：全自动化运行、无损作业、安全稳定

全自动换针系统：搭配探针健康预判确保测量任务连续高效运行