集材院临港新片区研发基地宣传片

上海集成电路材料研究院临港新片区研发基地于2025年1月正式启用，总建设面积7800平方米，已布局140余台集成电路材料与零部件材料专用检测设备，并具备CNAS、CMA、ISO9001、ISO27001等多项资质，可提供材料性能检测与概念验证服务。

性能检测实验区

性能检测实验区建设有百级和千级洁净间，配备物理、化学分析实验室，质谱、光谱实验室，VOC、TDS分析实验室等，可提供集成电路材料的分析检测服务。

概念验证实验区

概念验证实验区布局有微纳技术平台、高通量成膜技术平台。微纳技术平台配备无掩膜光刻、氧化炉、光电化学腐蚀等设备，支持微纳技术的设计、仿真、研制、测试及咨询服务；高通量成膜平台配备集材院自主研发的8英寸全晶圆集簇设备，可实现在不破坏真空情况下，单一晶圆连续开展多个区域的薄膜沉积，并在XPS腔进行成分、价态等材料性能表征。

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集材院临港研发基地为集成电路材料与零部件提供专业的研发支持和技术服务，助力集成电路材料产业创新发展！

集材院电子化学品专区研发基地宣传片

上海集成电路材料研究院电子化学品专区研发基地于2022年落户上海国际化工新材料创新中心。基地总建筑面积2000余平方米，已建设完成性能检测、基础研发和项目孵化等三大功能实验区。

基础研发实验区涵盖有各类材料研发共性技术平台，包括前驱体材料共性技术平台、关键原材料共性技术平台、湿法刻蚀系统共性技术平台、互联材料共性技术平台等，可为集成电路材料提供合成、纯化、混配等研发服务。

性能检测实验区建设有百级和万级洁净间，配备前处理室、热力学实验室、理化实验室、核磁实验室、质谱实验室、色谱实验室、高温实验室等专业实验室，可提供集成电路材料的分析检测服务。

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集材院电子化学品专区研发基地为集成电路前驱体、刻蚀液等关键材料的研发赋能，为突破高端电子化学品技术提供重要的平台支撑！