中科卓尔B+轮融资落地,推进光刻掩模版量产

艾邦半导体网 2026-11-03 18:00

近日,落户成都东部新区临空制造工业总部基地的半导体硬核科创企业成都中科卓尔智能科技集团(以下简称“中科卓尔”)顺利完成B+轮股权融资,本次融资由多方投资机构参与,推进光刻石英空白掩模版产业化布局,进一步攻坚半导体上游关键材料国产化,这也是新区深化政银企三方协同以金融活水赋能硬科技企业发展的生动实践。

中科卓尔B+轮融资落地,推进光刻掩模版量产图2

中科卓尔是成都东部新区重点招引的集成电路上游关键材料企业,为国家高新技术企业、专精特新企业。其核心团队源自中科院,长期聚焦半导体光刻空白掩模版、超精密装备研发制造,承担国家产业链攻关任务,突破多项“卡脖子”核心工艺,产品已通过国内头部客户验证。企业成都项目落地后,新区持续做好全周期服务保障,推动项目加速建设。

中科卓尔B+轮融资落地,推进光刻掩模版量产图3

硬科技企业技术迭代快、项目投入大,股权融资对企业扩产布局至关重要。新区坚持把金融服务嵌入企业全生命周期发展链条,充分发挥政银企桥梁纽带作用,联动各类投资机构、金融机构,常态化开展科创企业融资对接服务,打通企业与资本市场的沟通渠道。

本轮融资将重点用于中科卓尔高端石英空白掩模版的核心工艺研发深化与量产产线建设:一方面,加快超精密抛光、真空镀膜等核心装备与工艺结合的自主迭代;另一方面,进一步打通从材料检测、精密抛光、真空镀膜到智能制造的全链条能力,加速推进公司从技术验证向规模化量产的跨越,填补成都半导体材料产业链的关键一环。

中科卓尔B+轮融资落地,推进光刻掩模版量产图4

本轮融资落地,既是资本市场对中科卓尔技术路线、产业化前景的充分认可,也是成都东部新区持续优化营商环境,推动创新链、产业链、资金链深度融合的重要成果。获得资金加持后,企业将扩大高端光刻掩模版基板产能规模,完善全国产业布局,依托成渝两地研发生产协同赋能,进一步提升国内半导体关键材料供给能力。

来源:投资成都东部新区,侵删

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