东微电子自研光刻机核心零部件通过中芯国际、长鑫存储认证

直线电机，是光刻机运动平台的核心零部件。光刻机需将电路图案以纳米级精度“雕刻”在硅片上，直线电机直接驱动工作台和掩模台进行高速、超精密直线运动，其性能决定了定位精度和运动稳定性。

随着芯片制程进入纳米时代，传统旋转电机+传动机构的方式已难以满足，直线电机凭借直接驱动、无机械损耗、响应快、精度高等优势成为唯一选择。高端光刻机用直线电机技术门槛极高，国内市场严重依赖进口。

近日，河南东微电子自主研发的光刻机用直线电机、光源、光纤、磁座等关键零部件，正式通过中芯国际和长鑫存储严格认证。

资料显示，东微电子成立于2018年，致力于成为高端集成电路制造用材料和设备零部件一站式服务平台，业务由半导体核心材料、半导体设备、核心零部件三大板块组成，生产销售产品有溅射靶材、反应腔体、其他半导体零部件等。

作为国家级专精特新重点“小巨人”企业，东微电子于今年3月成功交付了高端自研半导体设备，六台12寸晶圆制造高端设备正式发往行业头部企业。

值得一提的是，东微电子还计划在重庆投资建设半导体设备西南总部项目。据悉，该项目于今年7月28日正式签约，计划总投资15亿元，分两期建设：一期建设西部半导体设备生产基地与先进存储芯片研究院；二期扩产并建设射频芯片生产线。项目拟于2025年开工建设，2026年投产，当年实现年产值2亿元，到2029年实现年产值12亿元。