AMIES第500台光刻机成功交付

半导体行业圈 2025-08-11 21:39

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半导体行业圈 振兴国产半导体产业!



8月8日,上海芯上微装科技股份有限公司(简称“芯上微装”或“AMIES”)举办第500台步进光刻机交付仪式,标志着我国高端半导体装备产业实现关键突破。
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本次仪式吸引政府部门、战略客户、股东代表、行业协会及合作高校等各界代表出席。AMIES高层在致辞中强调,第500台设备的交付是公司“以客户需求为导向,以技术创新为核心”战略的重要里程碑,彰显了国产光刻机从技术突破到规模化量产的跨越式发展。
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所谓步进式光刻机,由工件台、掩模台以及调焦调平系统三大部分组成,它其实集成电路制造的高精度投影曝光装置(不可或缺的核心装备),通过步进光刻技术实现高分辨率图案转移的半导体制造设备,核心功能是将掩模图案逐场投影到晶圆表面。
先进封装光刻机是AMIES的拳头产品,具备高分辨率、高套刻精度、超大曝光视场等显著特点,具有强大的翘曲和厚胶处理能力,可根据客户的具体工艺需求灵活配置设备。 该类产品能够满足Flip-chip、Fan-in、Fan-out WLP/PLP、2.5D/3D等先进封装技术的要求,获得了市场的高度认可,目前全球市占率达到35%,国内市占率达到90%。
值得关注的是,这家公司成立于 2025 年 2 月,至今仅半年时间,却已出货 500 台光刻机。
此次发运的“第500台步进光刻机”将交付给盛合晶微半导体(江阴)有限公司。盛合晶微是全球领先的集成电路晶圆级先进封测企业,致力于支持各类高性能芯片,尤其是图形处理器(GPU)、中央处理器(CPU)、人工智能(AI)芯片等,通过超越摩尔定律的异构集成方式,实现高算力、高带宽、低功耗等的全面性能提升。近几年,盛合晶微不断加强自主创新,着力发展先进的3DIC加工和集成技术,实现跨越式发展,同时推动了先进集成电路制造产业链整体水平提升。




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