1、项目概况、投资概算和实施进度安排
江苏亚电科技股份有限公司本次投资项目“高端半导体设备产业化及先进制程半导体工艺研发试制项目”具体包括“高端半导体设备产业化项目”和“先进制程半导体工艺研发试制项目”两个子项目。
（1）高端半导体设备产业化项目
①项目概况
本项目拟在泰州市姜堰经济开发区广州路新征土地建设高端半导体设备制造中心。新征土地建设主要由生产区域、综合办公楼和员工生活区组成，其中生产区域包含生产车间、原材料仓和成品库。本项目将
本项目基于公司湿法清洗设备研发及生产过程中的技术积累，通过新建厂房，购置先进生产设备，增强公司高端湿法设备生产能力。项目的实施将扩大公司整体业务规模、优化产品结构，拓展下游应用范围，进一步提高公司高端湿法设备生产效率和工艺水平，巩固公司在技术研发、产品质量、客户资源等方面的优势，提高公司的核心竞争能力和发展后劲。
②项目投资概算
本项目预计投资人民币 26,688.45 万元，
③项目实施进度安排
本项目计划建设工期为 3 年
（2）先进制程半导体工艺研发试制项目
①项目概况
本项目依托公司在湿法清洗设备领域的技术积累与制造资源，聚焦先进制程设备的样机试制、工艺验证及测试优化，构建从前端技术承接、中试验证到量产转化的完整链条。通过强化实验试制与测试环节，推动研发成果快速转化为可量产的成熟产品，提升设备清洗效率、良率及稳定性，助力公司抢占高端市场。本项目将
②项目投资概算
本项目预计投资人民币 45,066.98 万元
③项目实施进度安排
本项目预计建设工期为 3 年
2、环境保护措施
本项目建成后主要进行半导体专用设备的生产组装和研发试制，不属于重污染行业，对环境影响较小。项目运营过程中产生的污染物主要包括废气、废水、噪声、固废等，各类污染物均有相应防治措施和配套环保设备。
本项目将在实施和运营过程中严格遵守国家和地方的法律法规，采取相应措施对污染物进行环保处理并达到国家环保规定的排放标准。本项目已获得泰州市生态环境局出具的《关于江苏亚电科技股份有限公司高端半导体设备产业化及先进制程半导体工艺研发试制项目环境影响报告表的批复》（泰环审（姜堰）[2025]040 号）。
3、相关程序履行情况
本项目已取得《江苏省投资项目备案证》（泰姜数投备〔2025〕738号），已完成项目备案。本项目拟于江苏省泰州市姜堰经济开发区广州路以西、跃进路以南、开顺路以北新建厂房实施，项目用地尚未完全落实。公司已与江苏省姜堰经济开发区管理委员会签署《投资意向协议》，约定该项目用地事宜，明确该项目及用地符合土地政策、城市规划、环境保护等要求，公司取得相应土地使用权以及实施该项目不存在实质性法律障碍，后续公司拟通过招拍挂的形式获取该土地。
4、投资项目的确定依据
报告期内，公司营业收入分别为 12,073.38 万元、44,175.25 万元和58,041.15 万元，生产经营规模呈高速增长的趋势。然而，随着产业化进程加深以及公司业务规模不断扩大，公司存在持续扩大生产规模、研发技术水平的发展需要。本次项目之“高端半导体设备产业化及先进制程半导体工艺研发试制项目”拟借助公司总部生产、试制、人员等方面的优势在泰州实施。
其中，“高端半导体设备产业化项目”主要为制造中心，可以为公司高端半导体设备的生产制造提供高等级的厂房和生产设备，同时也可以满足公司在产品交付高峰期对厂房的需求，提升公司的交付效率；“先进制程半导体工艺研发试制项目”主要为研发试制中心，可以为公司在先进制程、特殊清洗工艺等前沿技术领域的研究进行样机和模块的试制、测试和改进，有助于提升公司研发成果产业化落地能力。
5、投资项目的可行性
（1）半导体湿法清洗设备行业具有广阔的市场空间
受益于技术进步、下游应用领域拓展等因素驱动，半导体清洗设备行业具有广阔的市场空间。此外，随着新能源汽车、AI 等领域对芯片需求的大幅增加，晶圆厂的产能提升也增加了对湿法清洗设备的资本性投入，为半导体湿法清洗设备的发展提供了广阔的市场空间。
根据弗若斯特沙利文统计，2024 年中国及全球半导体湿法清洗设备市场分别为 228.2 亿元和 527.3 亿元，预计 2029年中国及全球半导体湿法清洗设备市场分别达到 408.0 亿元和 843.2 亿元，年均复合增长率分别为 12.32%和 9.84%。本次投资项目主要应用于湿法设备的扩产和研发，覆盖高端半导体湿法设备、先进制程半导体湿法设备。广阔的下游市场为本次项目的实施提供了市场基础。
（2）公司具备投资项目实施所需的基础
经过多年的持续投入和稳健经营，公司已成为国内领先的湿法清洗设备供应商，公司拥有的技术储备、研发能力、人才储备、客户资源等坚实基础，是实施本次投资项目的重要保障。
①技术储备
目前，公司在半导体及光伏湿法设备的机械与自动化、流场与高效清洗、晶圆先进干燥等各个模块积累了丰富的工艺经验和深厚的技术沉淀，已实现对8 英寸、12 英寸等市场主流晶圆尺寸，成熟制程湿法清洗核心工艺场景的全面覆盖，持续推进先进制程产品的技术验证及产业化应用。公司在湿法设备领域积累的丰富的工艺经验及技术储备为本项目的顺利开展提供了重要支撑。
②研发能力
公司已建立完备的湿法清洗设备研发体系和试制流程，拥有广泛的研发经验和试制基础，拥有丰富的技术落地执行经验，具备自主研发行业前瞻性技术的能力，能有效推进研发项目的实施，从而增加项目成功的机率并确保其顺利实施。
③人才储备
公司作为一家技术驱动型的半导体湿法清洗设备制造商，拥有丰富的湿法清洗设备相关技术以及人才储备。公司实际控制人及核心技术人员具备全球半导体晶圆制造行业龙头、国内外知名高端设备制造企业的从业经历，大多具备十年以上半导体湿法清洗工艺、高端装备技术开发及产业化经验，汇聚了众多拥有不同学科背景的国内外高端人才，为本次项目的顺利实施提供了可靠的人力资源保障。
④客户资源
当前，公司湿法清洗设备产品已积淀明显的客户资源优势，客户对公司品牌、产品品质、技术工艺、服务质量均有较高认可度。因此，公司目前已拥有优质、稳定的客户资源，在行业内积累了良好口碑，与行业内主要客户稳定合作。同时，公司凭借其在行业内积累的良好口碑，将进一步拓展已有客户的业务范围，并积极开拓新客户，进一步提升对项目新增产能的消化能力。
（3）投资项目符合产业政策和国家经济发展战略
本次项目拟在公司现有核心技术及研发经验的基础上，针对 28 nm 以下先进制程及单片高温硫酸、高温磷酸等特殊清洗工艺设备核心模块进行研发试制，以满足半导体行业迅速发展背景下更高的清洗难度和成本，项目建设符合产业政策和国家经济发展战略，其实施具有政策保障。
6、投资项目与公司主要业务、核心技术之间的关系
公司本次拟主要投入到“高端半导体设备产业化及先进制程半导体工艺研发试制项目”和“先进制程湿法清洗设备研制项目”之中，均系围绕公司现有业务及核心技术展开本次“高端半导体设备产业化及先进制程半导体工艺研发试制项目”可分为“高端半导体设备产业化项目”和“先进制程半导体工艺研发试制项目”两个子项目。
其中，“高端半导体设备产业化项目”是公司基于未来整体产能目标而规划的产能补充项目，项目建成后将进一步提升公司包括半导体领域及光伏领域湿法设备产品的生产和交付能力；“先进制程半导体工艺研发试制项目”是依托于公司泰州总部的制造经验与核心技术积累，拟在公司现有核心技术的基础上，对先进制程湿法清洗设备及其核心模块进行研发试制，进一步增强公司的研发成果转化能力。
本次“先进制程湿法清洗设备研制项目”则是基于公司的核心技术，结合无锡地区在半导体领域的产业集群和人才优势，以前沿技术研究与核心模块开发为重点，以前端基础研究、算法开发及原型设计为核心，构建高精尖研发团队驱动的创新引擎，增强公司在湿法清洗设备领域的创新能力和核心技术领先地位，稳步提升公司的工艺水平及核心竞争力。
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