光掩模是连接IC设计与制造的关键图形蓝本
掩膜版(Photomask)又称光罩、掩模版、光刻掩膜版等,是液晶显示器、半导体等制造过程中的图形“底片”转移用的高精密工具。光掩模用于下游电子元器件制造业批量生产,是下游电子元器件制造业流程衔接的关键部分,是下游产品精度和质量的决定因素之一,是产业链中不可或缺的工具,具有资本密集、技术密集的特点。
资料来源:清溢光电招股说明书,中国科学技术大学微纳研究与制造中心,华源证券研究所,思瀚
光掩模广泛嵌入芯片制造等产业的核心工艺流程
按下游应用领域分类
平板显示行业:1. 薄膜晶体管液晶显示器(TFT)掩膜版,包括阵列(Array)掩膜版、彩色滤光片(CF)掩膜版。2. 有源矩阵有机发光二极管显示器(AMOLED)掩膜版。3. 超扭曲向列型液晶显示器(STN)掩膜版。
触控行业:1、内嵌式触控面板(In Cell、On Cell)掩膜版;2、外挂式触控(OGS)掩膜版等。
半导体行业:1、半导体集成电路凸块(IC-Bumping)掩膜版;2、集成电路代工(IC-Foundry)掩膜版;3、集成电路载板(IC-Substrate)掩膜版;4、发光二极管(LED)封装掩膜版。
电路板:1、柔性电路板(FPC)掩膜版;2、高密度互连线路板(HDI)掩膜版。
先进制程推动光掩模产业迭代,精细度持续提升,价值量连续攀升
伴随着制程节点的持续迭代升级,光掩模的技术也持续迭代,单片掩模的价格、关键掩模的数据量、整套掩模的价值量也呈现攀升趋势。在65-45nm制程时代,掩模基板类型为Att.PSM相移掩模,单片价值量约9-12万美元,全套光掩模的价值量150-210万美元;到32nm时代,掩模转向OMOG【不透明的MoSi硬掩模】,CD Uniformity、CD Targeting精度显著提升,栅极掩模的价值量提升至20万美元/片以上,全套掩模的价值量上升至300万美元及以上。
全球集成电路材料市场持续增长,预计2023 年全球半导体材料市场规模达794亿美元;
光掩模价值量占比高, 光掩模是半导体材料中占比第三大的产品,预计占到半导体材料市场价值量的12%;
光掩模市场庞大, 预计23年,全球光掩模市场规模达到95.28亿美元。



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