


中国半导体产业的奠基者之一
上海半导体器件研究所的历史可追溯至1974年1月,是我国最早研制和生产半导体器件的单位之一,隶属于上海市国有资产监督管理委员会。由原上海元件五厂六车间扩建而成,其业务涵盖半导体器件、集成电路、传感器的研究、开发及生产,专注于半导体器件新工艺、新技术的研究,为行业提供了重要的基础服务能力。
该研究所曾创下多项国内第一:
1979年9月,联合上海元件五厂、中科院上海冶金研究所等单位,成功仿制出国内第一块单片8位微处理器8080A,填补了国内微处理器领域的空白,获得国家科学技术委员会等部门的表彰。
1976年起,与上海无线电十四厂、上海元件五厂合作,在MOS工艺基础上突破氮化硅和多晶硅生长、等离子刻蚀等关键技术,采用硅栅自对准技术研制出等平面硅栅工艺,并成功量产存储器、微处理器中央处理器、计算机接口电路等大规模集成电路。
1979年,创办《上海半导体》期刊并全国公开发行,有效促进了半导体行业的技术交流。
1981年,引进集成电路计算机辅助设计(CAD)系统和关键制版设备,成为当时国内集成电路设计和制版的主要基地之一。
1982年,建成上海市理化分析可靠性试验中心,为产业链提供器件解剖、失效分析、材料检测等关键服务。
此外在航天工程等国家重大项目中,研究所提供的半导体器件保障了计算机高性能计算及卫星通信系统的稳定运行,为我国国防和航天事业作出重要贡献。这些历史成就均记录于上海社会科学院出版社1999年出版的《上海电子仪表工业志》中,见证了其在推动中国半导体技术发展中的重要角色。
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