中国政府采购网公示信息显示，12月25日，上海微电子装备（集团）股份有限公司成功中标代号为zycgr22011903的步进扫描式光刻机采购项目。此次采购的设备数量为1台，成交金额达10999.985万元，折合人民币约1.1亿元。
公开资料表明，上海微电子隶属于上海电气集团，是我国半导体装备领域的核心企业，尤其在高端光刻机的研发与制造环节占据国内领先地位。早在今年5月，该企业已正式宣布90nmArF光刻机实现量产。
来源：中国政府采购网
此次中标公示中的多项关键信息，一经披露便引发外界广泛热议。
其一，此次采购的设备型号为SSC800/10，其中“SSC”这一光刻机型号代号系首次公开。从代号含义来看，“SS”大概率对应“步进扫描式”——这是当前主流精密制程半导体所采用的极紫外光（EUV）、深紫外光（DUV）光刻机的核心机械工作模式。据悉，上海微电子目前已量产的光刻机产品，涵盖前道制造、浸没式等多个系列，型号包括“SSA”“SSX”“SSB”等。
其二，此次采购采用“单一来源采购”方式，这一细节或从侧面印证了项目的技术先进性。依据《政府采购法》相关规定，仅在特定情形下可采用单一来源采购模式，例如所购货物或服务涉及不可替代的专利、专有技术，或公共服务项目存在特殊要求导致只能向特定供应商采购；此外，不可预见的紧急情况、为保证原有项目一致性或服务配套需求，以及招标失败等情形也在此列。
值得关注的是，此次采购主体代号“zycgr22011903”属于保密代码，通常用于指代有保密需求的特定机构、项目主体或采购批次。梳理该主体近期半导体相关开标记录可见，其此前已先后就晶圆清洗机、椭偏仪、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备、原子层刻蚀设备（ALE）、电子束光刻机等半导体相关设备开展招标并公示中标结果。
从金额维度来看，上海微电子此次1.1亿元的中标价，与市场上多数光刻机相关招标项目数百万至数千万元的中标金额相比，存在显著差距。不过，相较于全球知名光刻机企业阿斯麦（ASML）的产品价格，上海微电子的设备仍具备明显优势——阿斯麦的DUV光刻机整机价格约为5亿元人民币，EUV光刻机更是高达10亿元人民币以上。
除上海微电子外，我国在光刻机领域的其他相关研发近期也频传捷报。今年以来，哈尔滨工业大学成功研制出13.5nm极紫外光刻光源，中科院上海光机所研发的深紫外光源系统则将工艺极限提升至3纳米理论值，一系列进展表明我国在光刻机领域正逐步实现突破性发展。
此次中标信息也迅速传导至资本市场，引发光刻机概念股异动。12月25日午后，光刻机板块快速拉升，张江高科在5分钟内直线冲高超7%，截至收盘涨幅接近5%；国风新材直接封死涨停，华软科技、华融化学、高盟新材等相关概念股也均出现不同程度的冲高表现。截至当日收盘，张江高科市值已接近660亿元。、
从全年表现来看，光刻机板块今年以来持续受到资金追捧，年内累计涨幅已超过76%。在板块内48只概念股中，已有13只个股实现年内股价翻倍。
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