光刻机关键材料氦气受冲击!台积电刚刚回应

52RD 2026-03-14 13:13

  3月14日消息,近半个月全球多地冲突加剧,不仅严重冲击石油、天然气等传统能源供应,还波及半导体产业链,其中氦气供应问题尤为突出。

  针对市场对氦气短缺的担忧,全球最大晶圆代工厂台积电回应称,目前氦气供应暂未对公司运营造成重大影响,公司将持续密切关注后续局势。

光刻机关键材料氦气受冲击!台积电刚刚回应图1

  半导体制造工艺复杂,对多种特种气体依赖度极高,氦气便是其中用量大、地位关键的品种。它沸点低至-268.9℃,是自然界中极难液化的气体,同时拥有优异的化学稳定性、导热性和渗透性。

  在芯片生产环节,光刻机、离子注入机均需依靠氦气进行冷却,氦气也在晶圆清洗、刻蚀等工序中充当保护气体,对产线稳定运行至关重要。

  行业数据显示,3–7nm制程的单颗晶圆生产需消耗120升氦气,3nm及以下先进工艺对氦气需求更高,单片用量达到150升,同时对气体纯度(7N级)的要求也大幅提升。

  全球氦气主要伴生于天然气开采,因此能源大国在氦气资源上具备显著优势。美国氦气资源储量约占全球40%,位居世界第一。

  中东国家卡塔尔近年来跃居全球第二大氦气生产国,去年氦气产量达6000万立方米,约占全球总产量的三分之一,也是我国氦气进口的主要来源地。受多方因素影响,当前我国从美国进口氦气的占比已处于极低水平。

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