蔡司SMT德国新厂投产，ASML重金押注EUV产能瓶颈突破

【区角快讯】半导体光刻领域的“双子星”绑定关系再度深化。近日，蔡司半导体制造技术公司（简称蔡司SMT）正式启用位于德国的全新生产基地，旨在大幅提升极紫外（EUV）光学元件的产出规模。这一动作绝非寻常的产能扩张，鉴于蔡司SMT是ASML EUV光刻机唯一的光学系统供应商，其地位可谓无可替代——业界常言，若无蔡司，便无EUV光刻机。

事实上，蔡司SMT的产能上限，直接构成了ASML提升EUV光刻机产量的核心瓶颈。ASML曾立下2027年增产30%的目标，而该目标的达成与否，很大程度上取决于蔡司的供货能力。早在今年2月发布的年报中，ASML便发出严厉警告：若蔡司SMT的生产中断持续时间过长，ASML将面临实质性的停摆风险。这种深度依赖源于极高的技术壁垒，蔡司独家提供EUV扫描仪所需的透镜、反射镜及照明系统。以一套High-NA EUV投影系统为例，其包含超过4万个精密零件，总重约12吨，仅单面反射镜的打磨制造就需耗时数月之久。

为打破这一制约，ASML不惜重金输血。据悉，ASML向蔡司SMT提供了19.1亿欧元贷款以及11.9亿欧元预付款，全力支持其扩产计划。双方的共同愿景是将每台光刻机的组装周期从目前的约22周压缩至15到16周，此举若能落地，将极大缓解当前EUV光刻机供不应求的紧张局面。从采购数据看，双方合作紧密度逐年攀升：2023年ASML从蔡司SMT采购额为33.3亿欧元，2024年增至39.5亿欧元，预计2025年将进一步达到44.1亿欧元。在摩尔定律逼近物理极限的今天，供应链上游的每一次产能跃升，都牵动着全球芯片制造的神经。