据业内14日消息，LG Display正在协调AP5产线LTPO工艺所用溅射设备的技术规格与供应商供货量。目前设备引入方案已正式敲定，已处于多套备选规格中确认最终配置的阶段。
经查阅，AP5是LG Display专为苹果生产iPad用LTPO TFT OLED搭建的第6代产线，于2024 年实现量产。近年来伴随iPhone订单不断增加，也已用于生产智能手机。
产能方面，目前LG Display坡州AP5产线的玻璃基板月投片量约为15K/M。若本次新建的7.5K/M月产能按计划顺利在2028年投产，该产线总产能将提升至22.5K/M。
LTPO是融合低温多晶硅（LTPS）TFT与氧化物TFT的技术路线，兼具LTPS高电流驱动能力与氧化物TFT低漏电流的优势，可实现屏幕刷新率动态调节，是降低面板功耗的核心技术。
LG Display将根据LTPO工艺的不同薄膜类型，配置差异化的溅射设备，目前正在评估适配单一工序的通用型、可兼容多道工序的混合型等多类方案。
上述提及的溅射设备是LTPO背板制程中形成氧化物半导体薄膜的核心设备，通过真空环境将氧化物材料沉积在基板表面。氧化物成膜工序前后，还需配套等离子处理、热处理、曝光显影、刻蚀等关联工艺。
据悉，韩国Avaco、Albak等设备厂商为此正在展开供应竞标。
一位业内人士表示：“据了解，LG Display正与Avaco等设备厂商磋商AP5产线LTPO用溅射设备的工艺配置与规格参数，由于目前仍在评估通用型与混合型方案，只有设备选型最终敲定后，才能明确各家供应商的采购份额。”
本次设备采购是LG Display今年4月公示的1.1万亿韩元OLED新产线投资的后续动作，投资周期截至2028年6月，核心目标是强化AP5产线的生产能力，支撑下一代中小尺寸OLED的技术研发与规模量产。
此前LG Display已选定Sunic System作为AP5产线第6代OLED蒸镀设备的供应商，与蒸镀工艺配套的真空物流设备供应商也已确认。预计包括溅射设备在内，LTPO 产线改造所需的后续工艺设备采购将陆续启动。
据了解，LG Display还在同步评估各膜层适配的通用型与混合型设备配置方案：通用型设备针对特定膜层与工艺条件做了专项优化，混合型设备则可适配多套工艺参数。
公司将综合对比各类设备的生产效率、工艺灵活性、投资成本等指标，敲定最终规格。
预计溅射设备采购晚于蒸镀设备，核心原因是工序衔接要求。只有蒸镀系统与整条产线的整体布局确定后，才能明确溅射成膜的材料体系、工序顺序与设备排布。
行业惯例为先敲定蒸镀设备与真空物流设备，再下发溅射设备的采购订单（PO）。
预计溅射设备供应商遴选工作将于本月内完成。LG Display计划最晚明年4月完成设备进场，目标2027年第二季度完成安装调试并投产。
显示面板用溅射设备是根据客户工艺定制生产的订单式设备，规格敲定后，还需经过设计、零部件采购、组装、厂内自检与客户验收等多个环节。
设备进场后，还需完成真空与电气系统连接、工艺参数调试、试生产等安装工作。要保障明年4月的进场节点，今年8月底就是采购落地的最后期限。
另一位业内人士透露：“AP5产线溅射设备的规格敲定进度比原计划有所滞后，不过为了赶上明年4月的进场节点，本月内就会确定设备配置与供货体量。”
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