2026中国半导体生态发展大会——【展商风采】夏罗登工业科技（上海）股份有限公司

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公司简介

2026中国半导体生态发展大会——【展商风采】夏罗登工业科技（上海）股份有限公司图3

夏罗登工业科技（SCHALOD）专注于小微流体测量与控制领域，具备精密小微流量计的设计、封装、研发、算法开发完整核心技术能力。

公司产品分为气体测量控制与液体测量两大产品线：气体产品包括气体质量流量计、气体质量流量控制器（MFC）；液体产品包括外夹式超声波流量计、涡轮流量计、涡街流量计、电磁流量计。

产品面向高端精密工艺场景，广泛服务于半导体与泛半导体、光伏新材料、人造金刚石、生物医药与生命科学、锂电池电极材料、氢能、医疗器械等行业。产品对标国际高端进口流量测控设备，性能可实现国产化替代。公司为国家高新技术企业、上海市专精特新企业、松江区专精特新企业。

夏罗登SCHALOD

核心产品介绍

核心产品一：MFCW系列气体质量流量控制器：

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MFCW系列热式质量流量控制器实现气体质量流量高精度测量与闭环控制，量程覆盖2 SCCM–2000 SLM，具备优异的重复性、线性度。金属密封版本拥有极低漏率，支持EtherCAT、Profinet等多种工业总线，可选OLED本地显示。

核心应用场景：

• 半导体与泛半导体：用于晶圆刻蚀、CVD/ALD薄膜沉积、扩散、离子注入等工艺，精准管控高纯及特种工艺气体配比，保障薄膜均匀性与制程良率。

• 光伏新材料：应用于PECVD、PVD镀膜工序，精准控制硅烷、氨气等反应气体流量配比，提升光伏电池转换效率。

• 人造金刚石：配套MPCVD金刚石生长设备，精确调节甲烷、氢气等工艺气体流量与混合比例，提升金刚石晶质。

• 生物医药与生命科学：在生物反应器、细胞培养中精准控制氧气、二氧化碳、氮气等供气配比。

• 锂电池电极材料：用于正负极材料烧结、气氛热处理，精确控制保护气及工艺气体流量。

• 氢能：服务于燃料电池性能测试、氢气配比、氢循环测试等场景。

• 医疗器械：应用于医疗设备配气系统，实现医用气体的精准流量调节

核心产品2：MSNP-P系列钳式外夹超声波流量计：

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MSNP-PV 2.0采用超声波时差法，专为PFA/PTFE等硬质塑料管设计。钳式外夹安装，传感器与液体零接触，避免介质污染。量程覆盖0.3–80L/min，精度±2%，支持特殊校准实现低至20ml/min微小流量检测。具备4–20mA、频率、开关输出、RS485 Modbus总线，IP65防护，整机免维护。

核心应用场景：

• 半导体与泛半导体：用于超纯水、化学药液循环管路流量监测，非侵入式测量，适配晶圆清洗、工艺冷却水系统。

• 光伏新材料：针对光伏产线冷却循环水、化学药液输送管路进行流量监测，无需破坏管道。

• 人造金刚石：MPCVD设备冷却水循环系统流量监测，保障设备散热稳定。

• 生物医药与生命科学：应用于生物制药设备中的液体流量检测。

• 锂电池电极材料：锂电产线冷却循环水、工艺浆液配套水路流量控。

• 氢能：氢能系统冷却水、喷淋管路流量监测，非接触式测量，降低泄漏风险。

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