SMEE携新一代先进封装光刻机等新品亮相湾芯展

今日，2026湾区半导体产业生态博览会（湾芯展）于深圳会展中心（福田）正式启幕。SMEE携新一代新兴封装光刻机SSD820、配套软件产品及位移测量干涉仪等核心分系统亮相展会。其中，重点展出的SSD820采用自主研发的大视场曝光系统，实现四倍曝光视场，并配备自适应双工件台与高精度多场景量测系统，面向先进封装产能提升与多类型工艺片适配需求；软件侧展出光刻工艺控制系统与光刻分析诊断系统，覆盖处方生成—仿真—补偿闭环及设备智能运维；干涉仪具备亚纳米级位移分辨率与多自由度同步测量能力，已在公司光刻机产品上批量配套应用。