“中国刻刀”！首台国产商业化电子束光刻机诞生

8月13日，全国首台国产商业化电子束光刻机“羲之”在余杭正式出炉。

据“余杭发布”介绍，首台国产商业化电子束光刻机是浙江大学成果转化基地首批签约孵化的项目之一，已在客户现场进入应用测试，其精度比肩国际主流设备，标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。

研发团队相关负责人介绍，“羲之”设备专攻量子芯片、新型半导体研发的核心环节，它通过高能电子束在硅基上“手写”电路，精度达到0.6nm，线宽8nm，可灵活修改设计无需掩膜版，如同用纳米级毛笔在芯片上精准作画，特别适合芯片研发初期的反复调试。

此前，此类设备受国际出口管制，中国科学技术大学、之江实验室等国内顶尖科研机构长期无法采购，而“羲之”的落地有望打破这一困局，目前已与多家科研机构展开接洽。

“羲之”电子束光刻机的成功应用测试，是我国高端半导体核心装备国产化的重大突破。这把自主可控的“中国刻刀”，将为加速国产高端芯片的研发进程、抢占未来科技制高点提供坚实的装备基础。