国产首台28纳米关键尺寸电子束量测量产设备成功出机

近半个月以来，国内半导体设备领域利好消息频繁。继8月13日全国首台国产商业化电子束光刻机“羲之”在余杭正式出炉后，近日，无锡集成电路装备产业也迎重要里程碑：国产首台28纳米关键尺寸电子束量测量产设备成功出机。

据“无锡博报”介绍，此次出机的中国首台28nm CD-SEM设备由无锡亘芯悦科技有限公司自主研制，已在电子光学系统、运动平台、电子电路和软件等方向实现了完全自研，将正式在某国内产线验证和使用。

电子束晶圆量检测设备是我国仅次于光刻机的关键短板，28纳米关键尺寸电子束量测量产设备的全自研、国产化突破，是有效解决中国半导体量检测领域“卡脖子”难题、迈向高端装备自主可控的里程碑式跨越。

无锡市工信局相关负责人表示，今后，将重点布局先进制程前道设备、化合物半导体专用装备、先进封装关键设备等领域，全力攻坚关键技术瓶颈，加速推进国产设备产业化。