
晶圆制造生产线除了光刻设备、刻蚀设备、清洗设备、薄膜沉积设备等核心设备外,也离不开废气处理设备、温控设备等系列附属设备的协同运作,这些设备对产线的产能利用率和产品良率等均有重要影响。
2025年10月15-17日,湾区半导体产业生态博览会(湾芯展)将在深圳会展中心(福田)举行。本届湾芯展汇聚晶圆制造附属设备领域实力厂商,他们将携最新成果及重点产品精彩亮相——
展位号:1H09
北京京仪自动化装备技术股份有限公司

北京京仪自动化装备技术股份有限公司,是一家集研发、生产和销售为一体的高端装备制造企业,主要产品包括半导体专用温控设备(Chiller)、晶圆传片设备(Sorter/EFEM)、半导体专用工艺废气处理设备(Local Scrubber)等专用设备,现已广泛应用于半导体、LED、LCD等领域。2023年11月29日在上海证券交易所科创板上市,股票简称为京仪装备,股票代码为688652。
展位号:9A10
上海盛剑科技股份有限公司

盛剑科技创立于2005年,是中国高科技产业知名的绿色科技服务商,于2021年4月在上海证券交易所主板上市(股票代码:603324)。公司以“致力于美好环境”为企业使命,持续秉持“行业延伸+产品延伸”的发展战略,已形成“绿色厂务系统解决方案、半导体附属装备及核心零部件、电子化学品材料”主营业务三驾马车,长期服务半导体显示、集成电路等众多高科技产业的知名企业,助力产业绿色生产,持续为客户创造价值。历经多年产业深耕,积累了深厚的项目经验、赢得了良好的行业口碑并夯实了稳固的行业地位。先后获评国家级“高新技术企业”、工信部专精特新“小巨人”企业、“上海市企业技术中心”及上海市“民营企业总部”等荣誉称号。
展位号:1L30
上海栎智半导体科技股份有限公司

上海栎智半导体科技股份有限公司创立于2010年,长期致力于为先进技术制造企业及研发机构提供全套气化输送系统解决方案,具体业务包括行业方案设计、材料和设备供应、系统安装等服务。栎智科技服务业务涵盖半导体照明、平板显示、集成电路、光纤通信、太阳能光伏及汽车尾气检测等领域。使命和价值观:以专业的团队,生产和施工专业的产品、在行业中建立专业的声誉,以更长久和更持续的专业精神传承企业命脉、团队合作和团队精神是企业发展力量的根基、诚信和承诺是公司的基本原则、为每一个德才兼备努力工作的员工提供公平发展的平台。
展位号:1B23
广东三藤科技有限公司

广东三藤科技有限公司,是一家专注于分布式制氢设备的研发、生产、销售与服务的科技型企业。也是国内首家实现99.9999999%(9N)超高纯氢设备量产的企业,下游客户涉及200多个行业。公司的“分布式甲醇水重整制氢”设备,现场制氢,即制即用,大幅降低企业用氢成本,解决了氢气难运输,成本高,不安全的诟病。
展位号:1E20
常州诚鉺正环保技术有限公司

常州诚鉺正环保技术有限公司成立于2016年,坐落在中国常州,自主厂房6000余平。相继被评定为国家高新技术企业和省专精特新企业。是一家 集研发、设计、生产、制造,售后于一体的环保科技型公司,主要产品为电子特气吸附剂,全系列尾气净化设备,各类型工程塔体等。公司拥有专利50余项,尾气设备相继通过半导体行业SEMI及CE论证、S09001、1S014001、1S045001国际互认。已形成从原材料采购、研发设计、生产制造到成品配送一套完整的质量控制体系。经营服务于半导体、光电、光伏、太阳能等产业。常州诚鉺正成立以来,一直秉承以市场为向导,以科研为龙头,以创新为手段,用心开拓国内外市场。
展位号:1G26
深圳高韵半导体科技有限公司

深圳高韵半导体科技有限公司隶属于高昇创芯(上海)半导体设备有限公司,高昇创芯依托现有的先进制造技术及研发成果,整合半导体All Subtool System:包含尾气处理设备、真空低温泵、磁悬浮分子泵、真空干泵、制冷机、真空检测仪器等产品,投入更多的研发力量及先进制造装备,以客户需求为导向,以整机和系统为牵引,设计为龙头,制造为基础,装备和材料为支撑,以技术创新、模式创新和体制机制创新为动力,破解产业发展瓶颈,打造半导体先进制造实现全产业链国产化。
展位号:1H20
浙江亚笙半导体设备有限公司

亚笙集团成立于2014年1月,注册资产4000万元,是一家专业从事半导体&液晶面板&太阳能等泛半导体市场,为客户提供尾气处理设备、真空泵设备、加热带设备、CMS中央集成系统的生产制造和销售安装;并致力于半导体真空附属设备国产化研发、生产、制造,提供本土化技术支持和售后服务的国家高新技术产业。
亚笙集团在上海有独立的销售公司,在合肥、浙江嘉善已设立了制造工厂及研发中心,厂房面积约10000m²
展位号:1A05
安徽优睿半导体技术有限公司
/深圳优睿半导体技术有限公司

依托自主精密温控技术为核心,专注于半导体专用精密温控设备(Chiller)的研发、生产与销售,产品广泛应用于集成电路、LED、新能源等领域。公司位于安徽省合肥市肥西经济开发区,80%以上员工为业内资深人士,涵盖专业研发技术人员与一线生产服务人员,凭借深厚的行业积累与技术沉淀,为各领域客户提供可靠的温控解决方案。
展位号:1G25
苏州晶拓半导体科技有限公司

苏州晶拓半导体科技有限公司坐落于苏州工业园区,是哈勃投资的高浓度臭氧系统解决方案的企业。
公司自有千级、百级无尘车间、测试平台,产品通过IS09001质量体系、CE、 SEMI-S2认证,是国内家首家通过FAB客户认证的高浓度臭氧供应商,承担卡脖子国家级研发项目。先后获姑苏领军企业、独角兽培育企业、专精特新、高新技术企业等荣誉称号。
晶拓半导体控股子公司苏州中世太新能源科技12年来一直致力于高浓度臭氧技术研究,产品在光伏行业市占率连续12年市占率领先,自主研发的半导体级高纯度臭氧气体与臭氧水系统填补国内空白,成功替代进口品牌。
展位号:1K32
大连地拓精密科技股份有限公司

大连地拓精密科技股份有限公司,成立于2018年12月25日,于2024年12月10日获准新三板挂牌。公司专注于微振动控制技术和精确指向技术的研发、应用及相关设备制造。公司业务涵盖被动防微振产品、主动防微振系统微振动模拟平台、在线振动监测、精密六足位移台的研发、方素设计、设备制造、现场服务,客户涵盖半导体、光学光电和科研等领域,。
公司是国家高新技术企业、国家知识产权优势企业、辽步省瞪羚企业。辽宁省“专精特新”中小企业。公司防微振设备被评为辽宁省“专精特新产品、自主研发产品“主动隔振系统”入选辽宁省首台(套)重大技术装备推广应用指导目录,公司拥有完备的研发团队,已获得152项相关业务知识产权。
展位号:1H29
阿尔西技术有限公司

阿尔西成立于1995年,历经近三十载的技术积淀,已发展为行业领先的温控解决方案提供商,业务覆盖半导体制造、医疗影像诊断、数据中心、电信通讯及电力储能等高科技领域。公司构建了全价值链服务体系,从前期咨询、方案设计、产品定制到工程实施与运维改造,为全球客户提供全生命周期温控管理。
在半导体产业加速国产化的战略背景下,阿尔西响应《中国制造2025》对半导体设备国产化的要求,持续推进温控技术自主化进程,凭借公司在晶圆级精密温控模块的创新突破,为中国半导体产业注入新动能。
展位号:1S30
合肥真萍电子科技有限公司

合肥真萍电子科技有限公司,是安徽旭腾微电子设备有限公司全资子公司,总部位于合肥经开区天都路4345号真萍科技产业园,是一家专注于热(+30-1600℃)、真空(1-1*10-6torr)、高压(10MPa)等设备的半导体装备行业高新技术企业。技术团队主要由一批多年从事热工、流体、结构、半导体等行业的专业工程技术人员为核心组成,目前已取得多项国家专利,并获得国家高新技术企业认定。
展位号:1S12
上海健颖智能科技有限公司

上海健颖智能科技有限公司创立于2015年,于2017年进军半导体行业,早期主要参与半导体设备的维护和改造,后于2018年8月完成首台CDS交付验收,于2019年2月完成首台SDS交付验收,于2019年6月完成LDS交付验收,且于2020年9月完成国内首条铈化液生产线交付验收,至此,公司业务开始井喷式发展。2024年4月新厂房投入使用,目前主要为半导体行业提供配套安装、改造、系统设计及升级、设备的生产与设计规划服务。
展位号:1E18
上海先普科技股份有限公司

先普由归国留学人员江晓松博士于2004年在上海市创建,是国家级专精特新小巨人企业、上海市高新技术企业,于2021年引入了业内两大头部公司的战略投资,2024 年顺利完成 B 轮融资。
先普是一家为半导体芯片生产和集成电路制造配套的超高纯气体纯化设备及零件的厂商,2005年,先普首先量产纯度为9N的气体纯化器,作为国内第一家9N气体纯化器制造商,遥遥领先同行。公发展历程中,先普凭借着过硬的研发能力、工程能力和对初心的执着,坚守“创造价值,服务产业”的公司使命。先普的大宗气体(N2, H2, O2, Ar, He, CDA)气体纯化设备,已持续不断地向12寸、8寸半导体芯片工厂和化合物半导体工厂交付和投用。
展位号:1J32
合肥亦威科技有限公司

合肥亦威科技有限公司于2020年成立,致力于成为国际泛半导体产业配套设备制造及服务领军者。旨在助力泛半导体产业核心设备国产化、加速国产泛半导体产业设备及制造国际化。公司集研发、生产、制造与服务为一体,主营产品中的温控设备(Chiller)拥有:精准控温、恒定控温、宽域控温、极速控温四大特点,完全满足半导体制程中Etch、CVD/PVD腔体精确控温领域,激光、高端医疗和精密实验室温控方案。
公司位于合肥高新技术产业开发区明珠产业园,并同时拥有三大生产研发服务基地:合肥、无锡、重庆。形成了一批由国内多年从事该领域研发的专业人才组成的高素质和专业经验丰富的技术研发及管理团队。
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