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公司简介
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专注半导体附属装备研发制造
旗下双品牌：
上海高笙（SUB FAB尾气处理设备）｜优尊真空（真空泵全产业链服务）
产品覆盖刻蚀/薄膜沉积等严苛制程，应用于三代半导体/光伏/液晶面板
全国多城市驻厂·24小时技术支持 联系方式：021-58072903
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主要客户
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主要产品
主要产品名称：干式真空泵CXH1800
产品应用领域：集成电路
排气量：1800m³/h
极限真空：<0.5pa
能耗电压：208v
能耗功率：7.5/4.5Kw
法兰接口（进气）：ISO160
法兰接口（排气）：KF40
CXH系列干式真空泵为公司新型研发真空设备产品：
(1)因其强大的抽气及粉尘处理能力，可适用于半导体绝大部分工艺制程；
(2)真空泵采用分体式多级爪式结构，内部由五级转子进行气体抽取及压缩排放，维护成本较低；
(3)采用永磁同步电机，运行稳定且具备更低的运行能耗，可无形中节约厂务成本；该系列产品具备运行真空度高，维护成本低，运行能耗低及噪声低等优点，为未来以低成本实现高工艺需求提供新方案；
主要产品名称：燃烧风冷式尾气处理设备BD-GS4000
产品应用领域：集成电路
使用行业：SEMI、SOLAR、TFT、LED 等
处理容量：4000LPM
设备尺寸：1000(L)×1500(W)×1802(H)MM
腔体接口：6Ports
处理效率：≥99%
产品优势：
(1)低NOx 燃烧
(2)节能模式( 低 / 中 / 高火 ) 低耗高效
(3)紫外火焰感应器
(4)高可靠性燃烧器，温度可达1000℃以上
(5)MFC(流量控制器）控制天然气和燃烧空气混合比，减少 LNG 的使用
(6)表面温度< 60℃
