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平台介绍
作为集成电路产业链的重要支撑，材料质量检测正在从"幕后"走向"台前"。
上海市计测院自2012年起深耕集成电路材料检测领域，服务范围从最初的电子级水逐步拓展至湿电子化学品、电子气体，如今已覆盖全部八大类材料，具备ppt级检测能力。2016年，建成的集成电路材料专用超净检测实验室被上海市科委认定为电子化学品计量检测专业技术服务平台。
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平台实力
设备总资产超1亿元，有21台大型设备为集成电路材料产业提供服务，服务场地约2000平方米。拥有100㎡百级洁净室和400㎡千级洁净室，已通过673个参数的CNAS认证，具备从原材料到成品的全流程检测能力。
🏆 专业优势 | 行业领先的技术实力
六大优势
✓ 设备先进：HR-ICP-MS、ICP-MS/MS、GDMS、XPS、FIB-SEM等高端检测设
标准制定实力：
承担7个专业技术委员会标准化研究工作
参与制定24项国家标准，主导制定7项 GB/T39486-2020《化学试剂电感耦合等离子体质谱分析方法通则》、GB/T 34972-2017《电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》
参与国际标准ISO 19230-2020 Gas analysis-Sampling guidelines制定
完成32场次标准化宣贯培训
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服务范围
全产业链质量保障解决方案
1.材料检测服务
11大类全覆盖 - 从工艺材料到零部件材料
专业优势：拥有完善的检测设备和丰富的项目经验，为集成电路制造提供全材料品类的专业检测服务。
2.工艺验证服务
专业优势：基于深厚的检测技术积累，将ppt级精密检测能力延伸至工艺验证领域
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联系我们
无论是常规检测需求，还是定制化技术方案我们都能为您提供专业支持
业务咨询：应老师
联系方式：15901857197
上海市计测院有限公司 理化分析研究室
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