新突破!国产光刻机陆续交付

艾邦半导体网 2025-08-11 18:06

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8月8日,上海芯上微装科技股份有限公司(英文简称:AMIES)举办了第500台步进光刻机交付仪式。

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先进封装光刻机是AMIES的拳头产品,具备高分辨率、高套刻精度、超大曝光视场等显著特点,具有强大的翘曲和厚胶处理能力,可根据客户的具体工艺需求灵活配置设备。 该类产品能够满足Flip-chip、Fan-in、Fan-out WLP/PLP、2.5D/3D等先进封装技术的要求,获得了市场的高度认可,目前全球市占率达到35%,国内市占率达到90%。

此次发运的第500台步进光刻机将交付给盛合晶微半导体(江阴)有限公司。盛合晶微是全球领先的集成电路晶圆级先进封测企业,致力于支持各类高性能芯片,尤其是图形处理器(GPU)、中央处理器(CPU)、人工智能(AI)芯片等,通过超越摩尔定律的异构集成方式,实现高算力、高带宽、低功耗等的全面性能提升。

芯上微装将持续深耕先进封装、IC前道、第三代半导体等领域,力争建设成为国内领先、具有国际竞争力的半导体高端装备企业。

根据资料显示,芯上微装成立于2025年02月,是一家专注于高端半导体装备研发、生产和服务的创新型科技企业。公司致力于为IC前道芯片制造、晶圆级/板级先进封装、化合物半导体和新型显示等应用领域提供高精度、高性能、高可靠性的设备及解决方案。目前芯上微装的主力产品为晶圆级先进封装光刻机、激光退火设备和前道晶圆缺陷检测设备。

来源:芯上微装官微

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