近日，作为杭州城西科创大走廊的浙江大学成果转化基地首批签约孵化项目之一，全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已进入应用测试，其精度比肩国际主流设备。该设备由浙江大学余杭量子研究院自主研发，能够实现纳米级精度，标志着量子芯片研发有了“中国刻刀”。
图源：杭州市经济和信息化局官微
据悉，这台设备取名“羲之”，寓意其精密“书写”能力与书法家王羲之的毛笔神韵相契合。该技术团队负责人表示，依托省重点实验室，研究院自主研发的新一代100kV电子束光刻机“羲之”已正式走向市场，“这不是普通的机器，而是一支能在头发丝上雕刻出整座城市地图的‘纳米神笔’！”
此前，此类设备受国际出口管制，国家实验室、中科大、之江实验室等国内顶尖科研机构长期无法采购，“羲之”的落地彻底打破这一困局。
“羲之”电子束光刻机的诞生，不仅打破了国际出口管制对高端半导体设备的限制，还为国内科研机构和企业提供了自主可控的芯片研发工具。
该设备能够以0.6纳米的精度在硅基上“手写”电路，线宽8纳米，无需传统光刻所需的掩膜版，极大提升了芯片研发初期的效率。此外，该设备的定价低于国际均价，已与多家科研机构展开接洽，显示出其在市场上的潜力。
从技术背景来看，“羲之”电子束光刻机的诞生并非孤立事件，而是科技创新与产业创新“两新融合”的成果。浙江大学、校友企业总部经济园和地方政府的合作，为科技成果的转化提供了支持，推动了从实验室样品到量产产品的全流程发展。
“羲之”电子束光刻机的诞生标志着中国在高端半导体设备国产化方面取得了重大突破，为国产芯片的研发提供了坚实的基础，也为未来科技制高点的抢占提供了装备支持。
