点击上方“蓝字”,关注更多精彩最近,高盛发布了一份报告,直言“中国光刻机落后ASML约20年”。一句话,立刻引发热议。有人点头认同:确实差距太大;也有人反驳:不至于吧,咱们芯片不是已经做到7nm了吗?那么,中国光刻机,究竟落后多少?真的有20年吗?在半导体设备中,光刻机是当之无愧的皇冠。原因很简单:它决定了芯片的最小刻线宽度,也就是所谓的制程节点。DUV深紫外光刻机(ArFi 浸润式) → 可支撑到 28nm 甚至 14nm(多重曝光)。EUV极紫外光刻机 → 必须要用来量产 7nm 及以下的先进制程。ASML是全球唯一能量产EUV光刻机的厂商,目前最新的High-NA EUV已交付给Intel、台积电、三星,单台售价超过4亿美元,重达180吨。可以说,它不仅是设备,更是国家战略级科技结晶。而中国当前能自主量产的光刻机,大致停留在 90nm ArF干式光刻机,浸润式(ArFi)尚未产业化,更别提EUV。高盛的逻辑是:ASML在2000年左右就开始量产65nm节点的ArF浸润式光刻机,而中国目前能做到的仍是90nm ArF干式机型。以时间轴对比,差了接近20年。这算是个“保守估算”,但并非空穴来风:ASML的DUV市场份额:>95%; EUV市场份额:≈100%;中国光刻机现状:尚未进入主流晶圆厂的28nm及以下工艺线。所以,从量产应用角度,差距确实接近20年。然而,光看量产水平,容易忽略几个现实:1. 中国芯片并没有停在90nm:SMIC(中芯国际)已经量产 7nm工艺芯片,尽管使用的仍是ASML的DUV设备,但说明在工艺整合、工艺工程能力上,我们并不是“只能做90nm”。先进制程芯片不是单靠光刻机,而是 设备+材料+工艺协同 的成果。2. 中国光刻机研发速度并不慢:上海微电子(SMEE)已完成 28nm浸润式DUV光刻机的原型机研制,预计进入验证阶段。国内在EUV的部分关键部件(光源、反射镜、掩模台)已有突破,但整机集成依然艰难。3. 产业链环境不同:ASML研发EUV用了20年,耗资超过400亿美元,背后还有荷兰、德国、日本、美国上百家企业的协同。 中国刚刚在5-10年内集中发力,要追赶一个几十年累积的“系统工程”,不可能一蹴而就。如果用“制程节点对应的光刻机量产能力”来对比,中国与ASML确实有15-20年的差距。但如果从“研发进展”来衡量,差距可能缩小到 7-10年:28nm浸润式DUV:国内预计在未来3-5年实现量产。 EUV极紫外:短期内难以追赶,但部分核心部件已进入研发。换句话说,差距确实存在,但绝非永远不可追赶。还有一个常被忽略的现实:中国半导体设备并非全面落后:刻蚀机:中微公司已进入全球前三,部分设备进入台积电产线。清洗机、薄膜沉积设备:北方华创、拓荆科技等公司在国内已实现替代。检测设备:长川科技、华海清科等逐步突破。这些设备在国内产线的应用水平,往往比“90nm光刻机”更先进。换句话说,中国光刻机是短板,但并不是全部。所以,中国光刻机,真的落后20年吗?答案是:在量产能力上,差距确实接近20年;在研发进展上,差距可能缩小到7-10年。更关键的一点是,光刻机不是孤立存在的,它背后是一个庞大的全球协作体系。ASML花了20年、400亿美元才造出EUV,中国要想追赶,至少也需要一个长期投入和完整产业链支撑的过程。因此,所谓“落后20年”,更像是一个提醒:差距很大,但并非绝望。只要方向正确,坚持投入,时间差未必不可缩短。你觉得中国光刻机需要多久能真正追上?中国芯,我的心,点个关注支持一下呗!关注我获得更多精彩