1、项目概况
公司“半导体关键材料研发中心建设项目”拟在大连生产基地建设半导体关键材料研发中心，对公司现有的电子特种气体及半导体前驱体材料进行持续研发优化，同时结合下游市场需求及技术发展趋势，对上述领域内的前沿技术进行探索，推动新技术、新产品的应用，增强公司的核心技术竞争力，同时加强技术成果转化的能力，助力公司主营业务的持续健康发展。
本项目拟投资金额为 12,621.50 万元，包含研发费用 4,197.00 万元、设备投资 4,019.00 万元、工程建设投资 4,004.50 万元、预备费 401.00 万元。本项目计划建设期 3 年。
本项目建设地点位于大连市普湾经济区松木岛化工园区纬一街东街、瑞康化学北侧，公司已取得项目用地的《不动产权证书》，证书编号为辽（2022）大连普湾不动产权第 11900119
2、项目实施的必要性
（1）提升核心技术竞争力，为主营业务的深化与拓展提供技术支撑
半导体产业是典型的高技术产业，具有资金密集型、技术密集型的特点，行业内企业多为大型企业，因此对上游关键材料的技术质量有着极高的要求，突出的产品竞争力是成功进入其供应链的关键。
目前，通过多年的自主研发，公司先后承担并完成了多项国家级、省级重大科研项目，在高纯三氯化硼、超纯氨、高纯氧化亚氮、高纯一氧化氮、高纯丙烯、高纯乙炔、高纯二氧化碳、高纯电子混合气体等产品领域取得了技术突破，并实现了产业化，部分产品打破了国外厂商对上述领域的垄断，相关产品具有较高的附加值，体现了公司的核心技术竞争力。
但是，随着公司主营业务的不断深化与拓展，公司需要不断优化产品的生产工艺，持续加强产品的核心技术竞争力。一方面，随着我国光伏产业的快速发展，TOPCon、HJT 等新型 N 性电池技术快速渗透，将为公司电子特种气体在光伏领域的应用提供市场机遇的同时，也将提出新的技术要求；另一方面，集成电路、新型显示等产业处于快速发展阶段，制造工艺革新速度不断加快，随着公司与上述领域客户的合作深度不断提升，其对公司产品也将提出新的技术要求。
（2）进一步丰富技术储备，有效激发主营业务发展潜能
电子特种气体及半导体前驱体材料种类繁多，随着下游客户供应链管理的复杂程度不断提升，为降低供应链管理成本，其对于产品服务的综合需求不断提升。因此，丰富的技术储备能够显著提升公司主营业务的发展潜力。一方面，由于电子特种气体及半导体前驱体材料的核心生产工艺通常包括合成、吸附、精馏、冷凝、过滤等工艺，不同产品间的核心生产工艺环节相似度较高，因此行业内的技术研发通常以新产品研发为载体。
与国外龙头厂商相比，公司目前的产品组合相对单一，技术储备不够丰富，容易造成一定的技术盲区，制约了公司主营业务发展的潜力。另一方面，公司目前的技术及产业化成果主要集中在电子特种气体领域，在半导体前驱体材料领域还相对欠缺。半导体前驱体材料主要应用于集成电路先进制程中 ALD 等工艺，具有较强的技术要求及产品附加值，在该领域内的技术提升有助于增强公司主营业务的发展潜力。
（3）加大技术研发投入，提升技术成果转化能力
公司作为国内专业的电子特种气体及半导体前驱体材料厂商，在半导体上游关键原材料领域，瞄准集成电路、新型显示、光伏等新兴产业的国产化替代需求，进行持续的技术研发创新投入，虽然在部分高端电子特种气体领域取得了技术突破及产业化落地，但技术成果的转化仍具有较大的空间。一方面，相较国外龙头厂商，公司总体产品品类仍较为单一，且部分产品的产业化导入仍存在较大的空间，需要进一步加大技术研发投入，加大新产品的开发力度和现有产品的技术迭代。
另一方面，通过长期的技术研发及积累，公司在半导体前驱体材料领域已经积累了一定的技术成果，并开始积极布局半导体前驱体材料的产业化，但尚未实现下游产业化客户的规模化导入，因此仍需要通过增加技术研发投入，进一步提升产品各项技术指标，推动半导体前驱体材料的大规模产业化应用。
3、项目实施的可行性
（1）国家产业政策的大力支持，为项目的实施提供了政策基础
电子特种气体及半导体前驱体材料作为上游关键支撑材料产业，其发展直接影响到下游集成电路、新型显示、光伏、LED 等战略新兴产业的发展，具有重大的战略意义。因此，国家及各级政府纷纷出台了一系列产业支持政策，推动我国高纯半导体材料行业健康发展，从而为本项目的实施提供了良好的政策基础。
（2）强大的技术研发实力，为项目实施提供了有利支持
电子特种气体及半导体前驱体材料属于半导体核心材料之一，广泛应用于半导体制造的各个环节。由于产品质量要求高，对行业内厂商在产品制备技术、分析检测技术、洁净灌装、包装物及瓶阀处理技术等核心技术方面均具有较高的要求，需要通过长时间的技术积累，方能实现技术创新与产品创新，推动新产品的产业化。此外，在技术及产品创新的过程中，涉及众多的专利技术及技术经验诀窍（Know-How），需要通过长时间的技术研发及产品生产经验积累方能掌握，具有较高的技术门槛。
电子特种气体及半导体前驱体材料的产品质量要求较高，对厂商在产品制备技术、产品检验技术和洁净灌装、包装物及瓶阀处理技术等核心技术方面均具有较高的要求，需要通过长时间的技术积累，方能落地新产品的产业化应用。在技术实力方面，公司先后承担并完成了 6 项国家级、6 项省级以及 5 项市级重大科研项目，主导制定了国家标准 2 项、团体标准 10 项，攻克了电子特种气体和半导体前驱体材料产业关键共性技术。
（3）丰富的优质客户资源，为本项目的实施提供了重要助力
电子特种气体及半导体前驱体材料的产品质量要求较高，对厂商在产品制备技术、产品检验技术和洁净灌装、包装物及瓶阀处理技术等核心技术方面均具有较高的要求，需要通过长时间的技术积累，方能落地新产品的产业化应用。在技术实力方面，公司先后承担并完成了 6 项国家级、6 项省级以及 5 项市级重大科研项目，主导制定了国家标准 2 项、团体标准 10 项，攻克了电子特种气体和半导体前驱体材料产业关键共性技术。
公司自成立以来通过科技成果转化形成了高纯三氯化硼、超纯氨、高纯氧化亚氮、高纯一氧化氮、高纯丙烯、高纯乙炔、高纯二氧化碳、高纯电子混合气体等一系列电子特种气体产品，具有较强的技术转化能力。
在产业化生产方面，公司多年来在电子特种气体领域积累了丰富的规模化生产经验，在电子特种气体生产线建设、工艺选择与改进、规模化生产交付、质量控制、供应链管理、安全环保生产管理等方面拥有丰富的经验，已成功建设并运营多条生产线，为本项目的建设和运营管理积累了丰富的产业化经验。
（4）丰富的优质客户资源，为新产品的销售推广提供了重要支撑
经过多年的行业沉淀，在供应链加强自主可控、原材料国产化替代的时代背景下，公司凭借优质的产品性能及服务，目前已经积累了较为丰富的优质客户资源。一方面，上述优质客户均为行业内大型知名企业，对电子特种气体及半导体前驱体材料具有较大的市场需求，良好的前期业务合作，将为本项目新增产品的市场推广打下良好的基础；
另一方面，对上述客户的产品导入应用案例具有较强的示范效应，有利于公司开拓潜在客户、现有产品的新应用拓展以及新产品的开发及应用推广，在公司与现有客户加深业务合作领域的同时，有望与其他潜在客户建立业务联系，进而拓宽本项目产品的市场覆盖面。
目前，公司集成电路领域客户主要包括台积电、大连英特尔、中芯国际、华润微、长江存储、长鑫存储、华虹宏力等；新型显示领域客户主要包括京东方、华星光电、惠科股份、天马微电子、维信诺、友达光电、龙腾光电、超视界等光伏领域客户主要包括晶澳科技、晶科能源、爱旭股份、阿特斯、东方日升等；LED 领域客户主要包括华灿光电、三安光电等。此外，公司产品还长期供应于林德集团、液化空气集团、大阳日酸、默克集团等外资气体巨头。
4、项目涉及的环保问题
截至本报告首次发布日，本项目已取得大连市生态环境局出具的《关于对高纯电子气体及半导体前驱体项目环境影响报告书的批准决定》（大环评准字[2023]000010 号）。
5、公司在行业中的竞争地位
公司成立之初即专注于电子特种气体行业，通过二十余年发展，已成长为具备电子特种气体国产替代能力的厂商之一。
公司已经全面掌握了高纯三氯化硼、超纯氨、高纯氧化亚氮、高纯一氧化氮、高纯丙烯、高纯乙炔、高纯二氧化碳、高纯电子混合气体等数十种电子特种气体的合成、纯化、混配、分析检测、充装等全套工艺体系及核心技术，涵盖了集成电路、新型显示、光伏以及 LED 制造过程中的沉积、掺杂、刻蚀、离子注入等关键工艺，电子特种气体应用工艺覆盖面全，并进入了台积电、大连英特尔、中芯国际、华润微、长江存储、长鑫存储、华虹宏力、京东方、华星光电、晶澳科技、晶科能源等集成电路、新型显示、光伏等知名厂商供应链体系，成为国内主要电子特种气体供应商之一。2020 年、2021 年、2022 年，公司电子特种气体产品国内市场占有率分别为 0.46%、0.69%、0.89%。
因此，从市场格局、国产化率和产品应用工艺看，公司是我国电子特种气体国产化力量的重要组成部分，助力我国集成电路、新型显示、光伏及 LED 产业链综合竞争力的提升。目前，在细分产品市场，公司高纯三氯化硼、超纯氨产品具备较为突出的市场地位。具体如下：
（1）公司是国内率先实现 5N 级高纯三氯化硼并实现产品国产替代的企业之一，现产品纯度已达到 6N5，为国际先进水平。该产品荣获“第十届（2015年度）中国半导体创新产品和技术奖”，公司是国内该产品首家上榜的企业。根据中国电子材料行业协会出具的说明，公司高纯三氯化硼产品 2021 年市场排名位居国内第一、全球第三，该产品于 2022 年荣获国家工信部“第七批制造业单项冠军产品”奖项，是当年电子特种气体领域数百种产品中仅有的两种上榜产品之一。
根据 QYResearch 统计数据，2020 年、2021 年、2022 年我国高纯三氯化硼市场规模为 5.46 亿元、6.37 亿元、6.89 亿元，公司高纯三氯化硼产品的国内市场占有率为 5.49%、8.63%、9.43%（均不包括出口）。
（2）公司是率先实现 6N 级超纯氨国产替代的企业之一，也是国内较早实现 7N 级超纯氨产业化的厂家，现产品纯度已达到 7N5，为国际先进水平。截至目前，公司超纯氨产能为 10,990 吨，规模位居全国前列，公司产业化工程于 2005年荣获国家发改委颁发的“国家高技术产业化示范工程”，“7N 白氨”（超纯氨）于 2006 年荣获国家科技部等多部委颁发的“国家重点新产品奖”。
同时，该产品亦荣获第三届（2008 年度）中国半导体创新产品和技术奖，公司是国内该产品首家上榜的企业。根据 QYResearch 的统计数据，2020 年、2021 年、2022年我国超纯氨市场规模为 7.92 亿元、14.76 亿元、15.57 亿元，公司超纯氨产品的国内市场占有率为 5.36%、3.92%、6.03%（均不包括出口）。
（3）在下游应用方面，公司高纯三氯化硼、超纯氨等产品已成功应用于集成电路领域 12 英寸 5nm 制程工艺，新型显示领域 10.5 代产线及 AMOLED 产线、光伏领域 TOPCon 工艺等，公司的主要产品实现与下游产业先进工艺深度融合。除上述外，根据中国电子材料行业协会出具的证明材料，公司是国内首家实现 4N5 级高纯丙烯、4N 级高纯乙炔产业化的本土厂商，同时公司的高纯一氧化氮、高纯二氧化碳的产品纯度也达到了国内先进水平，以上产品均具备较强的技术实力。
6、公司产品市场应用情况
多年来，公司凭借优秀的产品品质、稳定的产品质量，以电子特种气体国产替代为契机，在集成电路、新型显示、光伏以及 LED 等新兴下游市场领域，成功开拓了台积电、大连英特尔、中芯国际、华润微、长江存储、长鑫存储、华虹宏力、京东方、华星光电、惠科股份、天马微电子、维信诺、友达光电、龙腾光电、超视界、晶澳科技、晶科能源、爱旭股份、阿特斯、东方日升、华灿光电、三安光电等知名终端客户，并且是林德集团、液化空气集团、大阳日酸、默克集团等国际知名气体公司的供应商。公司产品下游应用各领域内主要客户情况如下：
7、技术研发水平及风险
公司创始团队均来自本土，创始团队经过三十多年技术积累，对行业具有深刻理解，指引公司技术研发及产业化路径。
公司自成立以来连续承担一系列国家、省级重大科技项目，攻克了高纯半导体材料相关产业关键技术，主导制定高纯三氯化硼、丙烯 2 项产品的国家标准及氨气、一氧化氮、二氧化碳等 10 项产品的团体标准，并曾连续独立承担了“十五”、“十一五”和“十二五”国家高技术研究发展计划（国家 863 计划）“高纯超净氨的纯化技术和规模化生产技术”、“超高纯氨气（7N）纯化技术和产业化技术开发”和“半导体照明外延生长用关键原材料研究”课题。
独立承担了国家重大科技专项（国家 02 专项）“高纯丙烯和三氯化硼的研制”课题、电子信息产业发展基金项目“高纯金属有机源研发及产业化”、辽宁省首批“揭榜挂帅”科技攻关项目“高纯半导体用前驱体”，并参与了国家重点研发计划战略性先进电子材料重点专项“面向第三代半导体的超高纯度有机源及氮源的关键制备技术”课题等。
凭借较为突出的技术实力，公司及产品相继荣获“国家级专精特新‘小巨人’企业”、“第七批制造业单项冠军产品”、“国家工业强基工程一条龙应用计划示范企业”、“首届中国新型显示产业链特殊贡献奖”、“中国新型显示产业链突出贡献奖”、“全国气体标准化先进单位”、“辽宁省瞪羚企业”、“国家高技术产业化示范工程”、“国家重点新产品奖”、第三届和第十届“中国半导体创新产品和技术奖”、辽宁省和大连市“科学技术进步奖”等企业及产品荣誉。
凭借稳定可靠的产品质量及优质的客户服务，公司获得了下游客户的一致认可，荣获“英特尔半导体产业供应链本地化突出贡献”、“华虹宏力 2022 年度质量稳定奖”、“青岛芯恩同芯共筑奖”、“华润微电子最佳质量供应商奖”、“华星光电优秀供应商奖”、“华灿光电最佳交付奖”、“晶澳科技 2021 年度优秀供应商”等供应商荣誉。
公司生产的高纯三氯化硼、超纯氨、高纯氧化亚氮等主要产品以及高纯丙烯、高纯乙炔等新产品广泛应用于集成电路、新型显示、光伏和 LED 等资金和技术密集型行业中的关键生产环节。随着上述行业技术研发投入的不断增加、关键技术节点和工艺的不断演进、产品的快速迭代，其对上游供应商提供的高纯半导体材料的品质要求亦日趋严格。
公司所从事的电子特种气体、半导体前驱体材料产品的研发和产业化具有较高的技术壁垒，且需要及时满足下游终端客户前沿技术与工艺的需求，因此需持续进行新产品的开发和存量产品的技术工艺提升。若公司的技术研发滞后或研发方向偏离行业技术发展方向、产品品质不能持续提升以适应下游客户的需求，将使公司在市场竞争中处于不利的地位。
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