随着 AI 算力需求爆发式增长,芯片尺寸持续做大,传统 12 英寸晶圆封装已经逐渐逼近物理极限,台积电 CoPoS 技术顺势浮出水面,成为业界高度关注的下一代解决方案。与此同时,这场从圆形晶圆向方形面板的封装形态变革,还将带动制造工艺、生产设备、材料体系全方位重构,上下游供应链也将迎来新一轮需求爆发。

台积电CoPoS浮上台面,成为产业高度关注的下一世代解决方案。图源:先探杂志
近些年,摩尔定律逐步逼近瓶颈,半导体行业的发展重心,已经从单纯的纳米制程工艺微缩,慢慢转向先进封装技术突破。随着云服务厂商对大语言模型训练需求持续攀升,AI 加速芯片的设计趋势已经确定:必然要集成更多计算核心、搭配更大容量的高带宽内存(HBM)。在这种架构迭代趋势下,单颗芯片的性能提升空间日渐受限,如何在封装层面实现高密度互联和系统集成,成为拉动算力持续扩容的核心关键。
在此行业背景下,CoWoS(晶圆上芯片再封装基板)已经成为当前最具代表性的先进封装技术之一。从结构来看,CoWoS 可以拆成两个核心环节:第一步是 CoW(晶圆上芯片),把多颗芯片(如 GPU、HBM)通过微凸块工艺贴装在硅中介层上;第二步是 WoS(基板上晶圆),再把完成互联的整片晶圆结构,贴装到封装基板(多为 ABF 基板)上。通过这种分层集成方式,CoWoS 能在硅中介层上实现远超传统基板的布线密度,让逻辑芯片和内存之间搭建海量、高速的信号传输通道。
从圆到方封装平台大转变
这套架构的核心优势,是把原本受限于单颗芯片尺寸、IO 接口数量的硬件系统,通过中介层整合成高带宽、低时延的集成模组。尤其在 AI 和高性能运算场景中,HBM 与计算芯片之间往往需要上千路以上信号互联,而 CoWoS 具备的高密度重布线层(RDL)能力,让它成为目前技术最成熟、已经实现大规模量产的主流方案。
但这套方案也存在天然的结构短板:第一,硅中介层受晶圆尺寸、光刻掩模版规格限制,封装面积的扩容空间十分有限;第二,硅基工艺本身成本偏高、产能存在瓶颈,在 AI 需求暴涨的背景下,供需矛盾越发突出;第三,ABF 封装基板的供货能力和最大尺寸也有上限,进一步制约了整套封装系统的扩展空间。
正是在技术瓶颈和产业供需的双重压力下,CoPoS(面板上芯片再封装基板)应运而生,被视作先进封装架构重要的升级演进方向。它最核心的变化是制造平台切换:从传统以圆形晶圆为核心的生产体系,转向以方形面板为载体的封装模式。
用方形面板 RDL 替代传统硅中介层,最大优势是能大幅提升单次工艺的加工面积。相比 300 毫米晶圆,目前行业研发的面板 RDL 主流规格主要有三类:310×310 毫米、515×510 毫米、750×620 毫米。单批次可以同时生产更多封装单元,直接拉低单颗封装的制造成本。
简单来说,方形面板的排版利用率远高于圆形晶圆:圆形晶圆面积利用率仅 65% 左右,方形面板能提升至 95%,大幅减少边缘区域材料浪费,对大尺寸 AI 芯片适配性尤其好。以英伟达 B200 芯片举例,12 英寸圆形晶圆只能排布 4 组封装单元,换成同规格方形面板,保守估算可以做到 9 至 16 组。从面积倍数来看:510×515 毫米方形面板,可用排布空间是 12 英寸晶圆的 4.5 倍;600×600 毫米面板可达 6 倍;700×700 毫米面板更是能达到 8 倍。
从技术原理来讲,CoPoS 并不是简单把 CoWoS 原有工艺照搬放大到面板尺寸。它最大技术难点之一,是用面板级 RDL替代硅中介层,实现同等水平的高密度互联。CoWoS 的硅中介层可以做到 5~8 微米的线宽线距,而当前主流面板级工艺只能做到 8~15 微米,两者还有明显差距。这种差距会直接影响 IO 接口密度和信号传输性能,在 HBM 与逻辑芯片需要大量高速互联通道的场景中,影响会更加明显。所以 CoPoS 后续发展的核心,就是持续把面板 RDL 工艺做细、缩小线宽线距,同时通过架构和布局设计优化,弥补互联密度上的差距。
CoPoS 有望破解 AI 芯片产能瓶颈
除了互联密度,工艺精度和材料稳定性也是面板级封装的核心难题。面板多采用有机基材,热膨胀系数远高于硅材料,在多层制程叠加高低温循环工况下,很容易出现面板翘曲变形。而且面板尺寸越大,翘曲效应越明显,会直接影响光刻对位精度,进而限制工艺能做到的最小线宽和孔径。反观传统晶圆工艺,在对位精度控制、材料稳定性上已经高度成熟。因此,CoPoS 要实现规模化落地,必须依托高精度面板光刻设备、低膨胀系数基材,再搭配更严苛的制程管控技术。
来源:工商时报,侵删
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