超越A2节点:二维半导体GAA CFET的微缩极限与集成挑战

半导体产业研究 2026-08-27 18:11
超越A2节点:二维半导体GAA CFET的微缩极限与集成挑战图1
超越A2节点:二维半导体GAA CFET的微缩极限与集成挑战图2
报告来源:arXiv-2D GAA CFETs Need Contact And Parasitic Co-Optimization At A2 Node (imec)-Xi, Fengben, Gautam Gaddemane, Anshul Gupta, Sheng Yang, Aryan Afzalian, Quentin Smets, Maarten Van de Put 等
      







超越A2节点:二维半导体GAA CFET的微缩极限与集成挑战图3
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