加速!12英寸碳化硅衬底中试线来了!

电子发烧友网 2025-09-29 07:00
电子发烧友网综合报道,12英寸碳化硅再迎来跨越式进展!9月26日,晶盛机电宣布,首条12英寸碳化硅衬底加工中试线在晶盛机电子公司浙江晶瑞SuperSiC正式通线,至此,浙江晶瑞SuperSiC真正实现了从晶体生长、加工到检测环节的全线设备自主研发,100%国产化,标志着晶盛在全球SiC衬底技术从并跑向领跑迈进,迈入高效智造新阶段。

浙江晶瑞SuperSiC此次贯通的中试线,覆盖了晶体加工,切割,减薄,倒角,研磨,抛光,清洗,检测的全流程工艺,所有环节均采用国产设备与自主技术,高精密减薄机、倒角机、双面精密研磨机等核心加工设备更是由公司历时多年自研攻关完成,性能指标达到行业领先水平。自此,晶盛机电正式形成了12英寸SiC衬底从装备到材料的完整闭环,彻底解决了关键装备“卡脖子”风险,为下游产业提供了成本与效率的新基准。

中试线是连接实验室小试与工厂量产的核心过渡环节,本质是模拟量产条件的小型化生产线。其核心目标是验证实验室研发的技术、工艺或产品能否稳定、高效、低成本地放大到工业级生产,同时解决从实验室样品市场商品的关键技术、设备、质量和成本问题。

碳化硅过去的主力市场是功率器件,但功率器件市场需求增速存在瓶颈,从6英寸到8英寸的进程花费时间较长,除了技术原因之外,市场需求也是其中的关键。

而12英寸碳化硅在近期产业内迎来两大新需求:AI眼镜市场爆发,推动碳化硅AR光波导镜片量产节奏;为了进一步提高散热效率,英伟达决定在下一代Rubin GPU中,将用碳化硅中介层替代第一代Rubin GPU上采用的硅中介层,并最晚在2027年广泛应用。

6英寸碳化硅衬底只能满足两副AR眼镜的生产,8英寸也只能满足4副眼镜的需求,AR碳化硅光波导镜片要想实现降本和大规模产能,就需要更大尺寸的碳化硅材料;先进制程工艺基于12英寸硅晶圆,因此在封装工艺中运用碳化硅,需要与硅晶圆同等尺寸的碳化硅衬底。得益于AR以及先进封装的新需求,12英寸碳化硅的产业化进展正在持续加速。

而与过去不同的是,碳化硅产业在过去30多年时间里,都是以欧美日系厂商为主导,包括6英寸、8英寸的产业化,都是由wolfspeed、罗姆、ST等厂商带领。但从目前12英寸碳化硅的进展来看,国内产业已经走在全球领先的地位,近一年时间里,天岳先进、天科合达、烁科晶体、山西天成、同光股份等衬底厂商都已经展出了各自的12英寸碳化硅衬底样品,积极突破相关量产技术。

浙江晶瑞 12 英寸SiC 衬底中试线的通线,意味着碳化硅产业主导权开始从海外转移至本土,通过技术迭代、成本革命和产业链整合,为新能源汽车、光伏储能等战略新兴产业的发展提供了核心材料支撑

加速!12英寸碳化硅衬底中试线来了!图1

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